[实用新型]一种X射线光电子能谱仪进样系统有效
| 申请号： | 201821792971.4 | 申请日： | 2018-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN209148570U | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 孙耀明;彭晓华;陈寿;江俊灵;王鑫;康光宇;朱婉平;李彦灼 | 申请（专利权）人： | 深圳市八六三新材料技术有限责任公司;深圳万佳原精化科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2273 | 分类号： | G01N23/2273 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 王永文;刘文求 |
| 地址： | 518117 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种X射线光电子能谱仪进样系统，用于对样品抽真空后将样品送到测试系统检测，包括：第一进样装置、第二进样装置、真空泵装置及真空管道；所述第一进样装置包括第一进样室，所述第二进样装置包括第二进样室，所述真空泵装置位于所述第一进样室与所述第二进样室之间，所述第一进样室与所述第二进样室均与所述真空泵装置通过真空管道相连，所述真空管道与所述第一进样室和所述第二进样室连接处均设置有阀门；所述真空泵装置用于对所述第一进样室进行抽真空，所述真空泵装置用于对所述第二进样室进行抽真空。本实用新型所述X射线光电子能谱仪进样系统能够降低了样品测试过程中的等待时间，提高了测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 进样室 真空泵装置 进样装置 进样系统 真空管道 抽真空 本实用新型 测试系统 测试效率 样品测试 阀门 检测 | ||
【主权项】：
1.一种X射线光电子能谱仪进样系统，用于对样品抽真空后将样品送到测试系统检测，其特征在于，所述X射线光电子能谱仪进样系统包括：第一进样装置、第二进样装置、真空泵装置及真空管道；所述第一进样装置包括第一进样室，所述第二进样装置包括第二进样室，所述真空泵装置位于所述第一进样室与所述第二进样室之间，所述第一进样室与所述第二进样室均与所述真空泵装置通过真空管道相连，所述真空管道与所述第一进样室和所述第二进样室连接处均设置有阀门；所述真空泵装置用于对所述第一进样室进行抽真空，所述真空泵装置用于对所述第二进样室进行抽真空。
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