[实用新型]晶圆载具的气体传输结构

摘要

本实用新型公开了一种晶圆载具的气体传输结构，包括一架体；架体上设有一转动组件；转动组件上设有一承载座用以承载一晶圆载具。架体上还设有一进出气装置，进出气装置连接有至少一进气组件及至少一出气组件，而进气组件及出气组件会连接至承载座上，当晶圆载具放置于承载座上时，进气组件及出气组件会连接至晶圆载具中，借此将气体导入或导出晶圆载具内，借上述结构，用户可将晶圆载具放置于承载座上，并配合出气组件将晶圆载具内的气体导出，再由进气组件将惰性气体导入晶圆载具内，还可经由旋转组件来旋转晶圆载具，以增加其使用上的方便性及效率。

主权项

1.一种晶圆载具的气体传输结构，其特征在于，包含：一架体；一转动组件，该转动组件设于该架体上；一供承载一晶圆载具的承载座，该承载座设于该转动组件上；一供连接至少一供气来源的进出气装置，该进出气装置设于该架体上；至少一进气组件，该进气组件的一端处连接于该进出气装置上，该进气组件的另一端处设于该承载座上并选择性连接至该晶圆载具上，以配合该进出气装置将气体导入该晶圆载具；及至少一出气组件，该出气组件的一端处连接于该进出气装置上，该出气组件的另一端处设于该承载座上并选择性连接至该晶圆载具上，以配合该进出气装置将气体导出该晶圆载具。