[实用新型]一种连续镀膜设备的进料机构有效
| 申请号： | 201821559966.9 | 申请日： | 2018-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN208933462U | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 王晗权;王兴杰;周年生;方辉鹤;张洪波 | 申请（专利权）人： | 百琪达智能科技（宁波）股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 宁波浙成知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33268 | 代理人： | 洪松 |
| 地址： | 315500 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种连续镀膜设备的进料机构，包括进料仓，进料仓内设置有第一基片架和进料机构，进料机构为三轴进料机械手，三轴进料机械手包括进料机械手X轴链、进料机械手Y轴链、进料机械手Z轴链、进料机械手运行轨道、真空吸盘、进料驱动机构，进料机械手X轴链、进料机械手Y轴链、进料机械手Z轴链分别设置于进料机械手运行轨道上，且通过进料驱动机构带动进料机械手X轴链、进料机械手Y轴链、进料机械手Z轴链在进料机械手运行轨道上滑动，真空吸盘设置于进料机械手Z轴链的输出端，真空吸盘用以将钕铁硼磁片移送至第一基片架上。本实用新型能够自动将钕铁硼磁片放置于基片架上，具有自动化程度高、工作效率高的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 进料机械手 进料机构 运行轨道 真空吸盘 基片架 连续镀膜设备 本实用新型 钕铁硼磁片 进料驱动 进料仓 三轴 工作效率高 输出端 滑动 自动化 | ||
【主权项】：
1.一种连续镀膜设备的进料机构，包括进料仓（1）,其特征在于：进料仓（1）内设置有第一基片架和进料机构，进料机构为三轴进料机械手（2），三轴进料机械手（2）包括进料机械手X轴链（3）、进料机械手Y轴链（4）、进料机械手Z轴链（5）、进料机械手运行轨道（6）、真空吸盘（7）、进料驱动机构，进料机械手X轴链（3）、进料机械手Y轴链（4）、进料机械手Z轴链（5）分别设置于进料机械手运行轨道（6）上，且通过驱动机构带动进料机械手X轴链（3）、进料机械手Y轴链（4）、进料机械手Z轴链（5）在进料机械手运行轨道（6）上滑动，真空吸盘（7）设置于进料机械手Z轴链（5）的输出端，真空吸盘（7）连接有真空发生器, 真空吸盘（7）用以将钕铁硼磁片移送至第一基片架上。
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