[实用新型]一种多功能PVD装饰涂层设备

摘要

一种多功能PVD装饰涂层设备，解决现有技术存在的设备通用性差，生产效率低，占用空间大，增加生产投入，不利于节能环保的问题。包括一侧与真空抽气系统相连的真空室，其特征在于：真空室的另一侧设置其上布置有离子源的密封门；真空室内的环状工件旋转机构的内侧和外侧，分别设置有若干组沿圆周均布的圆柱磁控靶；真空室侧壁上设置的电弧蒸发源阱内设置可拆卸式电弧蒸发源和挡板；真空室靠近真空抽气系统一侧的侧壁上设置的平面靶阱内，设置前后移动式平面靶；真空室中部的蒸发电极和蒸发舟的两侧，分别设置有加热装置。其设计合理，结构紧凑，占用空间小，能够实现多种装饰涂层的制备，废水、废气排放量小，生产效率高。

主权项

1.一种多功能PVD装饰涂层设备，包括真空室（1），其特征在于：所述真空室（1）的一侧与真空抽气系统（16）相连，真空室（1）的另一侧活动设置有密封门（6），密封门（6）的一端通过铰链（9）与真空室（1）开口的侧部相铰接，密封门（6）的另一端则利用锁紧装置（4）锁固在真空室（1）开口另一侧的外侧壁上；密封门（6）上设置有离子源（7）；所述真空室（1）内设置有环状的工件旋转机构（8），环状工件旋转机构（8）的内侧和外侧，分别设置有若干组沿圆周等间距布置的圆柱磁控靶（2），真空室（1）的上盖（20）上、与各组圆柱磁控靶（2）相对应的位置处，分别设置有预留法兰接口（3）；所述真空室（1）的侧壁上设置有电弧蒸发源阱（10），电弧蒸发源阱（10）的靶材安装法兰（12）上设置有可拆卸式电弧蒸发源（11），电弧蒸发源阱（10）内还设置有挡板（13）；真空室（1）靠近真空抽气系统（16）一侧的侧壁上设置有平面靶阱（14），平面靶阱（14）的靶材安装法兰（12）上设置有前后移动式平面靶（15）；真空室（1）的中部设置有蒸发电极（18）和蒸发舟（19），蒸发电极（18）的两侧分别设置有加热装置（17），且真空室（1）的上盖（20）上、与蒸发电极（18）相对应的位置设置有蒸发电极接口。