[实用新型]真空腔充气组件有效
| 申请号： | 201821488833.7 | 申请日： | 2018-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN208949394U | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 林继柱 | 申请（专利权）人： | 君泰创新（北京）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 赵永辉 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区亦*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种真空腔充气组件，用于向真空腔体定义的真空腔内充气，包括充气组件和与所述充气组件密闭连通的充气缓冲管。所述充气组件设置于所述真空腔体，用于向所述真空腔内部注入气体。所述充气缓冲管设置于所述真空腔内，所述充气缓冲管包括管状腔体，所述管状腔体外表面开设有多个匀气通孔组合，所述匀气通孔组合与所述管状腔体连通。上述真空腔充气组件，通过设置所述充气缓冲管，并在所述充气缓冲管的管状腔体开设所述多个匀气通孔组合，可有效地控制气体经过所述充气组件后流入所述真空腔的位置和方向，同时保证充气均匀性。进而提高PVD磁控溅射设备的运行节拍、稳定性和工作效率，同时有利于提高工艺的完整性。 | ||
| 搜索关键词： | 充气组件 真空腔 充气缓冲 管状腔体 通孔 匀气 真空腔体 充气 磁控溅射设备 位置和方向 有效地控制 真空腔内部 工作效率 密闭连通 注入气体 均匀性 节拍 连通 申请 保证 | ||
【主权项】：
1.一种真空腔充气组件(100)，用于向真空腔体(200)定义的真空腔(210)内充气，其特征在于，包括：充气组件(110)，设置于所述真空腔体(200)，用于向所述真空腔(210)内部注入气体；以及与所述充气组件(110)密闭连通的充气缓冲管(120)，设置于所述真空腔(210)内，所述充气缓冲管(120)包括管状腔体(121)，所述管状腔体(121)外表面开设有多个匀气通孔组合(122)，所述匀气通孔组合(122)与所述管状腔体(121)连通。
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