[实用新型]一种蒸发面积可调的钨钼薄壁蒸发舟有效
| 申请号： | 201821437087.9 | 申请日： | 2018-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN208898979U | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | 徐冰;王辰 | 申请（专利权）人： | 宝鸡市创信金属材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 721013 陕西省宝*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种蒸发面积可调的钨钼蒸发舟，包括蒸发舟容纳仓底、第一夹装耳、第一夹装孔、第二夹装耳、第二夹装孔，蒸发舟容纳仓底与第一夹装耳以及第二夹装耳为一体化钨钼薄膜弯折而成，蒸发舟容纳仓底前后两侧分别具有蒸发舟容纳前仓壁和蒸发舟容纳后仓壁。通过使用钨钼合金薄膜一体化弯折，代替原有较厚壁面的蒸发舟，有效降低了蒸发舟的成本，通过配合夹装弹簧装置，使用薄膜结构的蒸发舟可以随着弹簧的预紧力而具有不同的金属液蒸发面形状，通过调整弹簧预紧力，钨钼合金金属膜厚度以及夹装耳与蒸发舟仓底之间角度，调整蒸发舟的形状变化规律，使在不同剩液比例下的金属液蒸发面积保持恒定，控制真空镀膜的工艺质量。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发舟 夹装 容纳仓 钨钼 蒸发 面积可调 钨钼合金 金属液 预紧力 弯折 薄膜 本实用新型 恒定 容纳 薄膜结构 弹簧装置 调整弹簧 形状变化 真空镀膜 一体化 金属膜 蒸发面 弹簧 薄壁 厚壁 后仓 前仓 配合 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发面积可调的钨钼薄壁蒸发舟，包括蒸发舟容纳仓底(7)、位于所述蒸发舟容纳仓底(7)一端的第一夹装耳(1)、位于所述第一夹装耳(1)顶部中间位置的第一夹装孔(2)、位于所述蒸发舟容纳仓底(7)另一端的第二夹装耳(3)、位于所述第二夹装耳(3)顶部中间位置的第二夹装孔(4)，其特征在于：所述蒸发舟容纳仓底(7)与所述第一夹装耳(1)以及所述第二夹装耳(3)为一体化钨钼薄膜弯折而成，所述蒸发舟容纳仓底(7)前后两侧分别具有蒸发舟容纳前仓壁(5)和蒸发舟容纳后仓壁(6)。
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