[实用新型]蒸镀设备有效
| 申请号： | 201821354617.3 | 申请日： | 2018-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN208995581U | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 陈立国;张启明 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 赵永辉 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种蒸镀设备包括蒸发源壳体、第一调整装置、蒸发源以及第二调整装置。所述蒸发源壳体具有中空的腔室。所述蒸发源设置于所述腔室内。所述第一调整装置连接于所述蒸发源壳体，以带动所述蒸发源壳体相对于基材移动。所述第二调整装置设置于所述腔室内，其连接于所述蒸发源，以带动所述蒸发源相对于所述基材移动。所述第一调整装置和所述第二调整装置可以同步或异步进行伸出或回缩动作来调整所述蒸发源的高度，进而实现更快的调节蒸发速率的目的，使薄膜均匀性更好。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发源 调整装置 壳体 基材移动 蒸镀设备 薄膜均匀性 本实用新型 室内 中空的 腔室 蒸发 伸出 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：蒸发源壳体(200)，具有中空的腔室；蒸发源(400)，设置于所述腔室内；第一调整装置(300)，其连接于所述蒸发源壳体(200)，以带动所述蒸发源壳体(200)相对于基材(700)移动；以及，第二调整装置(500)，设置于所述腔室内，其连接于所述蒸发源(400)，以带动所述蒸发源(400)相对于所述基材(700)移动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京铂阳顶荣光伏科技有限公司，未经北京铂阳顶荣光伏科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821354617.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种指纹按键真空电镀设备
- 下一篇：硒分配管、薄膜蒸镀设备及光伏芯片制造设备
- 同类专利
- 专利分类
