[实用新型]一种兆声清洗中晶圆转速检测装置

摘要

本实用新型公开了一种兆声清洗中晶圆转速检测装置，其结构包括控制面板、启动按钮、设备主体、固定板、控制柜、端盖、报警灯、连接杆、滚筒、转盘、操作台、断路保护装置、液晶显示器、控制按钮，本实用新型一种兆声清洗中晶圆转速检测装置，当设备长时间工作后，控制芯片检测到设备当前的电压大于额定电压时，小马达得电工作，带动锥形齿轮转动，使与锥形齿轮啮合的第一齿轮旋转，同时让主动轮与第一齿轮同步工作，再通过传送带让主动轮与从动轮产生联动作用，同时让从动轮与筒形凸轮同步动作，从而带动连杆上移，让第二齿轮转动，带动齿壁推杆在滑槽上向下移动，断开动触点与静触点，停止设备工作，从而预防晶圆损坏。

主权项

1.一种兆声清洗中晶圆转速检测装置，其特征在于：其结构包括控制面板(1)、启动按钮(2)、设备主体(3)、固定板(4)、控制柜(5)、端盖(6)、报警灯(7)、连接杆(8)、滚筒(9)、转盘(10)、操作台(11)、断路保护装置(12)、液晶显示器(13)、控制按钮(14)，所述启动按钮(2)与控制按钮(14)在同一平面上，所述控制面板(1)嵌入安装于设备主体(3)的内部，所述端盖(6)的下表面与设备主体(3)的上表面相贴合，所述连接杆(8)嵌入安装于报警灯(7)的末端，所述控制柜(5)的上方设有连接杆(8)，所述固定板(4)的侧面设有滚筒(9)，所述转盘(10)嵌入安装于操作台(11)的内部，所述断路保护装置(12)嵌入安装于控制面板(1)的内部，所述液晶显示器(13)与控制按钮(14)在同一平面上，所述断路保护装置(12)包括小马达(1201)、锥形齿轮(1202)、第一齿轮(1203)、筒形凸轮(1204)、连杆(1205)、装置保护壳(1206)、齿壁推杆(1207)、滑槽(1208)、第二齿轮(1209)、动触点(1210)、静触点(1211)、从动轮(1212)、传送带(1213)、主动轮(1214)、控制芯片(1215)，所述装置保护壳(1206)的内部设有小马达(1201)，所述锥形齿轮(1202)与第一齿轮(1203)相啮合，所述筒形凸轮(1204)的上方设有从动轮(1212)，所述装置保护壳(1206)的内部设有连杆(1205)，所述齿壁推杆(1207)嵌入安装于滑槽(1208)上，所述第二齿轮(1209)与齿壁推杆(1207)相啮合，所述动触点(1210)的上表面与静触点(1211)的下表面相贴合，所述传送带(1213)的内表面与主动轮(1214)的外表面相贴合，所述装置保护壳(1206)的内部设有控制芯片(1215)。