[实用新型]一种MPCVD设备基板台冷却结构

摘要

本实用新型涉及一种MPCVD设备基板台冷却结构，包括基板台支撑台、设置有冷却液出口的冷却管，还包括设置于冷却液出口处的喷头，所述喷头的一端连接冷却管，另一端设置有截面面积覆盖基板台支撑台底面的喷口。本实用新型使冷却液经过冷却管进入喷头并储存于喷头内，冷却液均匀分布在基板台底部，实现基板台底部全覆盖，进而使基板台得以均匀冷却。喷头与冷却管之间通过连接螺纹连接，喷口与基板台支撑台的距离通过连接螺纹进行调节，在流量不变的情况下，通过调节两者的距离，可调节冷却速度，距离大，冷却速度慢；距离小，冷却速度快，即根据需求调节冷却效果。

主权项

1.一种MPCVD设备基板台冷却结构，包括基板台支撑台、设置有冷却液出口的冷却管，还包括设置于冷却液出口处的喷头，其特征在于所述喷头的一端连接冷却管，另一端设置有截面面积基本覆盖基板台支撑台底面面积的喷口，所述喷头与基板台支撑台之间还有缝隙，供冷却液流出。