[实用新型]电注入工艺处理设备

摘要

本实用新型涉及硅片生产设备技术领域，尤其是涉及一种电注入工艺处理设备，包括机架、输送机构、风扇、吹风板和挡板，所述输送机构设置在所述机架上，所述机架上设置有用于驱动所述输送机构的驱动装置，所述机架上沿所述输送机构输送方向依次设置有注电室和冷却室，所述注电室和所述冷却室之间设置有用于将两者相互隔开的隔板，本实用新型电注入工艺处理设备在使用时，通过吹风板一端输入端输入风源，通过吹风板另一端的通孔输出，再由摆动机构控制挡板摆动，从而实现对风向的控制，使得风能够更好的对电池片进行冷却，冷却室另一侧的风扇将带有热量的空气排出冷却室，使得硅片冷却更加均匀，提高了冷却效率。

主权项

1.一种电注入工艺处理设备，其特征在于：包括机架(1)、输送机构(2)、风扇(3)、吹风板(4)和挡板(5)，所述输送机构(2)设置在所述机架(1)上，所述机架(1)上设置有用于驱动所述输送机构(2)的驱动装置，所述机架(1)上沿所述输送机构(2)输送方向依次设置有注电室(101)和冷却室(102)，所述注电室(101)和所述冷却室(102)之间设置有用于将两者相互隔开的隔板(6)，所述风扇(3)设置在所述冷却室(102)的一侧，所述吹风板(4)设置在所述冷却室(102)的另一侧，所述吹风板(4)和所述风扇(3)相对设置，所述吹风板(4)内具有风道(401)，所述风道(401)的一端为输入端，所述风道(401)的另一端为输出端，所述输入端向外延伸并设置在所述机架(1)外，所述输出端位于所述冷却室(102)内，所述吹风板(4)位于其输出端上沿竖直方向开设有若干通孔(402)，所述通孔(402)与所述风道(401)连通，所述挡板(5)铰接在所述吹风板(4)上，所述机架(1)上设置有用于控制挡板(5)摆动的摆动机构。