[实用新型]用于晶圆划片切割的刀片组件及包含其的切割机有效
申请号: | 201820555663.3 | 申请日: | 2018-04-18 |
公开(公告)号: | CN208664084U | 公开(公告)日: | 2019-03-29 |
发明(设计)人: | 方军华;汪进;邹志伟;廖育民 | 申请(专利权)人: | 昆山扬明光学有限公司 |
主分类号: | B28D5/02 | 分类号: | B28D5/02 |
代理公司: | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人: | 薛琦;罗洋 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于晶圆划片切割的刀片组件及包含其的切割机,所述用于晶圆划片切割的刀片组件包括第一开槽刀片体和切割刀片体,所述切割刀片体连接于所述第一开槽刀片体,且所述切割刀片体的外缘相对于所述第一开槽刀片体的外缘向外凸起。所述切割机包括有刀架和如上所述的用于晶圆划片切割的刀片组件,所述用于晶圆划片切割的刀片组件连接于所述刀架。本实用新型的用于晶圆划片切割的刀片组件及包含其的切割机,实现一次切割完成,无需频繁切换刀片,大大提高了切割效率。 | ||
搜索关键词: | 刀片组件 划片 晶圆 切割 切割机 开槽刀片 切割刀片 本实用新型 刀架 频繁切换 切割效率 一次切割 体连接 外凸起 刀片 | ||
【主权项】:
1.一种用于晶圆划片切割的刀片组件,其特征在于,其包括第一开槽刀片体和切割刀片体,所述切割刀片体连接于所述第一开槽刀片体,且所述切割刀片体的外缘相对于所述第一开槽刀片体的外缘向外凸起。
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