[实用新型]一种镀膜设备有效
| 申请号： | 201820160021.3 | 申请日： | 2018-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN207793418U | 公开（公告）日： | 2018-08-31 |
| 发明（设计）人： | 王晓尉 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人： | 周放;张应 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种镀膜设备，通过将位置传感器设置在镀膜腔室外侧，并穿过传感器探测通路对镀膜腔室内部的镀膜载体的位置进行探测，从而避免位置传感器与镀膜载体直接接触而对镀膜载体产生损坏，且避免镀膜腔室内部极端环境对位置传感器造成不利影响；而且，通过设置防护装置，防止传感器探测通路被镀膜阻挡，从而保证位置传感器的正常工作；本实用新型结构简单，成本较低，使用方便。 | ||
| 搜索关键词： | 位置传感器 镀膜 本实用新型 传感器探测 镀膜设备 镀膜腔 室内部 镀膜腔室 防护装置 极端环境 探测 穿过 阻挡 保证 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备包括：镀膜腔室；设置在所述镀膜腔室的内部的镀膜载体，所述镀膜载体用于承载待镀膜工件；设置在所述镀膜腔室的外部的位置传感器，所述位置传感器通过传感器探测通路探测所述镀膜载体的位置；所述传感器探测通路连通所述位置传感器与所述镀膜腔室的内部；防护装置，所述防护装置围绕所述传感器探测通路且沿着所述传感器探测通路延伸。
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