[实用新型]真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201820108501.5 | 申请日： | 2018-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN207811864U | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 陈自新;朱海锋;郑立冬;李伟 | 申请（专利权）人： | 无锡光润真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 张欢勇 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜装置，包括第一腔体和第二腔体。第一腔体中设置有镀膜系统，第二腔体上设置有卷绕系统。镀膜系统包括离子源和靶体并设置在第一腔体的内壁上。卷绕系统包括第一收放卷、第二收放卷、镀膜辊和导向辊，镀膜辊包括第一镀膜辊和第二镀膜辊。第一镀膜辊和第二镀膜辊开设有液体通道，真空镀膜装置还包括旋转接头，旋转接头连接镀膜辊，液体通道连通旋转接头和镀膜辊。旋转接头和液体通道保持静止，不发生转动。本实用新型实施方式中，水冷辊使得真空镀膜装置能为一些不耐高温的材料进行镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜辊 真空镀膜装置 旋转接头 第一腔体 液体通道 本实用新型 第二腔体 镀膜系统 卷绕系统 收放卷 导向辊 离子源 水冷辊 靶体 镀膜 内壁 连通 静止 转动 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜装置，其特征在于，包括第一腔体和第二腔体，所述第二腔体可移动地设置在所述第一腔体中并配合形成密闭空间，所述第一腔体中设置有镀膜系统，所述第二腔体上设置有卷绕系统，所述镀膜系统包括离子源和靶体并设置在所述第一腔体的内壁上，所述卷绕系统包括第一收放卷、第二收放卷、镀膜辊和导向辊，所述镀膜辊包括第一镀膜辊和第二镀膜辊，所述导向辊用于将所述第一收放卷上的待镀材料引导卷绕到所述第一镀膜辊和所述第二镀膜辊上并进一步引导至所述第二收放卷上或将所述第二收放卷上的待镀材料通过所述第二镀膜辊和所述第一镀膜辊引导至所述第一收放卷上，所述第一镀膜辊和所述第二镀膜辊开设有液体通道，所述真空镀膜装置还包括旋转接头，所述旋转接头连接所述镀膜辊，所述液体通道连通所述旋转接头和所述镀膜辊，所述旋转接头和所述液体通道保持静止，不发生转动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡光润真空科技有限公司，未经无锡光润真空科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201820108501.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
