[实用新型]基于金属腔的表面等离激元激光器有效
| 申请号： | 201820011680.0 | 申请日： | 2018-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN207938961U | 公开（公告）日： | 2018-10-02 |
| 发明（设计）人： | 温秋玲;张家森;徐西鹏 | 申请（专利权）人： | 华侨大学 |
| 主分类号： | H01S5/028 | 分类号： | H01S5/028;H01S5/04;H01S5/10;H01S5/30 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 张松亭;张迪 |
| 地址： | 362000 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于金属腔的表面等离激元激光器，包括表面等离激元波导和金属腔。本实用新型的金属腔是利用刻蚀技术嵌入在表面等离激元波导中作为激光器的谐振腔，因此金属腔的形状和尺寸可精确控制。由于金属腔的腔镜对腔中表面等离激元模式的反射率超过90％，使得金属腔中表面等离激元激光的Q值高达1170。本实用新型的表面等离激元激光器采用金属腔作为激光器的谐振腔，具有物理尺寸小、品质因数大、形状和尺寸可精确控制、制备工艺简单成熟、室温工作，可与电子芯片兼容等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 金属腔 表面等离激元 激光器 本实用新型 表面等离激元波导 谐振腔 电子芯片 刻蚀技术 品质因数 制备工艺 反射率 腔镜 嵌入 激光 兼容 成熟 | ||
【主权项】：
1.一种基于金属腔的表面等离激元激光器，其特征在于，该激光器包括表面等离激元波导和金属腔；所述表面等离激元波导包括依次层叠设置的透明衬底层、金属薄膜层、第一绝缘介质层、增益介质层、第二绝缘介质层和金属厚膜层；所述金属腔是利用刻蚀技术嵌入在表面等离激元波导中作为激光器的谐振腔，所述金属腔由垂直金属反射镜组成，并且由金属厚膜层延伸至透明衬底层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华侨大学，未经华侨大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201820011680.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
