[发明专利]离子源、离子束照射装置及离子源的运转方法在审
| 申请号： | 201811609061.2 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN110379697A | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 山元彻朗 | 申请（专利权）人： | 日新离子机器株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/30;H01J37/317 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 聂慧荃;郑特强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种在阴极不会折损的情形下可变更包含在离子束中的所希望离子的比率的离子源、离子束照射装置及离子源的运转方法。该离子源(1)从等离子体生成容器(2)朝预定方向引出离子束的离子源(1)，其具有：电子供给部(3)，其对等离子体生成容器(2)内供给电子；电磁铁(M0)，其生成捕捉来自电子供给部(3)的电子的磁场；以及位移装置，其为了变更包含在离子束的所希望离子的比率，而在离子束的引出方向使磁场的中心位置位移。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 离子束 等离子体生成容器 离子束照射装置 电子供给 磁场 离子 电磁铁 阴极 供给电子 位移装置 预定方向 运转 可变 折损 捕捉 变更 | ||
【主权项】：
1.一种离子源，其从等离子体生成容器朝预定方向引出离子束，所述离子源具有：电子供给部，其对所述等离子体生成容器内供给电子；电磁铁，其生成捕捉来自所述电子供给部的电子的磁场；以及位移装置，其为了变更包含在所述离子束的所希望离子的比率，而在所述离子束的引出方向使所述磁场的中心位置位移。
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