[发明专利]轴锥镜的加工方法有效
申请号: | 201811523911.7 | 申请日: | 2018-12-13 |
公开(公告)号: | CN109719573B | 公开(公告)日: | 2020-10-16 |
发明(设计)人: | 张彦超;顿爱欢;邵建达;吴令奇;吴福林;徐学科 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所;上海恒益光学精密机械有限公司 |
主分类号: | B24B1/00 | 分类号: | B24B1/00;B24B13/00;B24B13/02;B24B27/033;B24B49/12;B28D1/22;G01B11/24;G01B11/30 |
代理公司: | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人: | 张宁展 |
地址: | 201800 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种轴锥镜的加工方法,包括以下步骤:1)锥面成型:采用光学加工中心进行锥面成型;2)粗抛:采用聚氨酯抛光盘快速抛光,去除刀纹并提高粗糙度,直至抛亮;3)精密抛光:采用大气等离子体抛光设备进行精抛,进一步提高粗糙度及面形精度;4)保形精修:采用柔性小工具进行精修,使轴锥镜面形最终达到要求;5)检测:对加工完成后的轴锥镜进行检测。本发明解决了轴锥镜抛光过程中加工效率低、表面疵病以及锥角边缘区域面形精度难以控制的问题。 | ||
搜索关键词: | 轴锥镜 加工 方法 | ||
【主权项】:
1.一种轴锥镜的加工方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:1)采用光学加工中心进行轴锥镜的锥面成型加工:待加工的轴锥镜的参数如下:轴锥镜的直径D、锥角A、中心厚度H、中心通孔φ、加工要求为面形PV;将工件置于光学加工中心的工作台上,在机床控制界面输入待加工轴锥镜的参数:锥角和直径,并设置机床刀具转速、进给量和工件转速,刀具转速的选择范围为4000~5000rpm、进给量的选择范围为0.1~0.15mm/min,工件转速的选择范围为3~7min‑1,对工件进行加工,轴锥镜的锥面加工完成后,使用三坐标测量机检测锥角A、中心孔φ和中心厚度尺寸H,使用Taylor Hobson PGI 1240触针式轮廓仪检测面形PV,上述指标若不合格,则重复步骤1),若都合格进入下一道工序;2)采用与轴锥镜相匹配的锥形磨具进行粗抛:所述的锥形磨具是在与待加工的轴锥镜的锥面相匹配的铝制基底(1)上依次粘附沥青层(2),粘附聚氨酯(3)构成,采用单轴机并设置转速60~70rpm、压力50~60N后进行粗抛加工,直至锥面完全抛亮,在暗场下,强光灯照射下人眼检测光洁度是否合格,若不合格重复步骤2),若合格,使用LuphoScan非接触式3D光学表面轮廓测量仪检测面形PV,为下一步工序提供加工数据;3)精密抛光:将粗抛完成的轴锥镜放置在大气等离子体加工机床上,根据步骤2)中检测的面形数据生成加工程序,设定机床工艺参数:反应气体流速60~80L/min,采用螺旋加工路径,首先调节出口喷嘴,选用光斑的范围为6~10mm,相应的去除效率为1~30mm3/min,实现面形快速收敛,然后再调节出口喷嘴,选用0.2~0.6mm光斑,相应的去除效率为0.01~1mm3/min,执行精抛工艺,加工完成后使用LuphoScan非接触式3D光学表面轮廓测量仪检测面形PV,为下一步工序提供加工数据;4)采用柔性小工具进行保形精修:所述的柔性小工具由球形基底(4)、弹性硅胶垫(5)和聚氨酯(6)构成,首先选取口径为3mm,半径为2.5mm的铝制球形基底,在基底表面粘贴2mm厚的弹性硅胶垫,再在硅胶垫表面粘贴一层聚氨酯构成,根据步骤3)中检测的面形数据生成保形精修程序,采用数控抛光机进行保形精修,去除在步骤3)中锥面上形成的沉积层;5)对加工完成后的轴锥镜进行检测:使用LuphoScan非接触式3D光学表面轮廓测量仪检测面形PV、使用Zygo光学轮廓仪检测表面粗糙度Rq,暗场中强光灯照射下人眼检测光洁度,上述指标是否合格,若其中有一项不合格,则返回复步骤2),若都满足要求,则进入下一步;6)完成加工。
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