[发明专利]一种硅片打毛液有效
| 申请号： | 201811435366.6 | 申请日： | 2018-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN109609129B | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 李少平;尹印;贺兆波;张庭;冯凯;万杨阳;王书萍 | 申请（专利权）人： | 湖北兴福电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/08 | 分类号： | C09K13/08;H01L21/306 |
| 代理公司： | 宜昌市三峡专利事务所 42103 | 代理人： | 成钢 |
| 地址： | 443007 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于电子化学品领域，具体涉及一种硅片打毛液。所述硅片打毛液主要用于处理硅片表面使其具有一定粗糙度，组成包括以下按重量百分比含量计的成分：1~15%的氟化氢铵、20~50%的硝酸、30~60%无机酸、1~5%过硫酸铵、1~5%的醋酸及15‑26 wt%水。硅片表面粗糙度及缺陷是一项重要的指标，其粗糙度大小及缺陷多少将影响硅片打毛后续工艺的进行，利用打毛液对硅片进行化学腐蚀既可以得到需要的表面粗糙度，又可以避免机械打毛过程中的表面缺陷和硅片损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 打毛液 | ||
【主权项】：
1. 一种硅片打毛液，其特征在于：打毛液主要成分包括1~15wt%的氟化氢铵、20~50wt%的硝酸、30~60wt%无机酸、1~5wt%过硫酸铵、1~5wt%的醋酸及15‑26 wt%水。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湖北兴福电子材料有限公司，未经湖北兴福电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811435366.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种绿色荧光粉及其制备方法
- 下一篇：一种用于电阻率法探测的电极降阻剂
