[发明专利]一种混合声波谐振器及其制备方法有效
| 申请号： | 201811277386.5 | 申请日： | 2018-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN109257027B | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 李平;胡念楚;贾斌 | 申请（专利权）人： | 开元通信技术（厦门）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 361026 福建省厦门市海沧区中国（福建）自由贸易*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种混合声波谐振器，在压电薄膜表面第一区域设置有叉指电极，从而使得混合声波谐振器中包括有声表面波谐振器；在压电薄膜表面第二区域设置有至少两个沟槽，相邻沟槽之间形成体声波传播部，在体声波传播部侧表面设置有体声波电极，在体声波电极背向体声波传播部一侧表面设置有空气间隙，从而构成了体声波谐振器，使得混合声波谐振器中同时设置有声表面波谐振器和体声波谐振器，实现了不同种类谐振器的集成；同时在体声波传播部中传递的声波以及在叉指换能器中传递的声波均是沿水平方向传递，保证了混合声波谐振器具有良好的性能。本发明还提供了一种混合声波谐振器的制备方法，所制备而成的混合声波谐振器同样具有上述有益效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 混合 声波 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种混合声波谐振器，其特征在于，包括：衬底；位于所述衬底表面的压电薄膜；位于所述压电薄膜背向所述衬底一侧表面第一区域的叉指电极；位于所述压电薄膜背向所述衬底一侧表面第二区域的至少两个沟槽；其中，相邻所述沟槽之间形成体声波传播部，所述体声波传播部具有相对的两个侧表面；分别位于所述体声波传播部侧表面的体声波电极；其中，所述体声波电极背向所述体声波传播部一侧表面设置有空气间隙。
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