[发明专利]双真空室离子束修形加工系统及修形加工方法在审
| 申请号： | 201811261305.2 | 申请日： | 2018-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN109243952A | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长沙埃福思科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/305;H01J37/18 |
| 代理公司： | 长沙朕扬知识产权代理事务所(普通合伙) 43213 | 代理人： | 杨斌 |
| 地址： | 410100 湖南省长沙市长沙县*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双真空室离子束修形加工系统和修形加工方法，该加工系统包括可相互连通的主真空室和副真空室，主真空室中设有离子源以及用于带动离子源运动的离子源运动机构，副真空室中设置有工件的加工工位，加工工位上设置有在加工时用于固定工件的夹具；副真空室沿离子源的离子束照射方向布置且加工工位在离子源照射范围内。本发明不必配置专用的真空传送装置将工件传送到主真空室的加工工位上，节约了成本，提高了稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 加工工位 离子源 副真空室 主真空室 离子束修形加工 双真空室 修形 加工 夹具 真空传送装置 离子束照射 离子源照射 固定工件 加工系统 运动机构 专用的 连通 节约 配置 | ||
【主权项】：
1.一种双真空室离子束修形加工系统，包括通过插板阀(3)可相互连通的主真空室(1)和副真空室(2)，所述主真空室(1)中设有离子源(14)以及用于带动离子源(14)运动的离子源运动机构(13)，其特征在于，所述副真空室(2)中设置有工件(4)的加工工位，所述加工工位上设置有在加工时用于固定所述工件(4)的夹具(7)；所述副真空室(2)沿所述离子源(14)的离子束照射方向布置且所述加工工位在所述离子源(14)照射范围内。
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