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- [发明专利]运动机构-CN96195786.7无效
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柳泽健
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柳泽健
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1996-07-17
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2000-10-11
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B25J9/02
- 一对移动体（１４ａ、１４ｂ）可沿导杆（１２ａ、１２ｂ）向第１方向（Ｘ）移动。第１、第２旋转导杆（１８ａ、１８ｂ）设置在各移动体上。第１、第２卷挂构件（２０、２２）受到张力并卷挂在第１、第２旋转导杆上，第１卷挂构件的一端部（２０ａ）从第１旋转导杆拉出并固定于基座（１０ａ）上，另一端部（２０ｂ）从第２旋转导杆向与一端部相反的方向拉出并固定在基座（１０ｂ）上。第２卷挂构件的一端部从第１旋转导杆向与第１卷挂构件一端部的拉出方向相反的方向拉出并固定在基座上，另一端部（２２ｂ）从经２旋转导杆向与一端部相反的方向拉出并固定在基座上。驱动装置（１１）使移动体向第１方向移动。
- 运动机构
- [实用新型]运动机构-CN202223359502.2有效
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刘俊丰;姜保彧;张豹
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北京华卓精科科技股份有限公司
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2022-12-12
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2023-05-30
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H01L21/68
- 本实用新型提供了一种运动机构，包括：底座；运动台，位于底座的上方，运动台能够在底座的上方运动；限位结构，设置在运动台上，限位结构能够将运动台悬浮在底座上方，并限定运动台在底座上方的移动轨迹；驱动组件，设置在底座上，且与运动台连接，驱动组件用于驱动运动台沿移动轨迹移动。基于本实用新型的技术方案，由于限位结构能够将运动台悬浮在底座上方，这样避免了运动台与底座直接接触，从而降低了运动台移动时的阻力，进而提高了运动台的移动效率，以满足运动机构对晶圆进行高精度的微小移动的要求而且，限位结构能限定运动台在底座上方的移动轨迹，这样能够实现对晶圆进行高精度的微小移动。
- 运动机构
- [发明专利]恒力运动机构-CN202310895230.8在审
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常晓杰
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昆山泓杰电子股份有限公司
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2023-07-20
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2023-10-24
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F16M11/04
- 本发明公开了一种恒力运动机构，包括连接座、转头座和支撑臂，支撑臂一端与连接座铰接，转头座安装于支撑臂另一端，恒力调节组件包括力值运动件、弹性件、滑动件和调节机构，滑动件能沿支撑臂长度方向直线滑动设定距离的安装于支撑臂侧壁上，力值运动件一端与滑动件铰接，力值运动件另一端与连接座铰接，弹性件一端安装于支撑臂上，弹性件另一端安装于滑动件上，弹性件随滑动件运动而弹性伸缩，弹性件伸缩变形能给滑动件提供保持受力平衡的动态弹性力，调节机构能调节弹性件在其另一端处于静态状态下的弹力值
- 恒力运动机构
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