[发明专利]镀膜均匀性在线检测装置、检测方法及镀膜设备在审
| 申请号： | 201811224583.0 | 申请日： | 2018-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN111074230A | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 黄传虎;王建新 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人： | 杨洁;周放 |
| 地址： | 102209 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种镀膜均匀性在线检测装置、检测方法及镀膜设备，其中该检测装置包括载具本体、距离检测机构和控制装置，其中，距离检测机构设置在镀膜设备上，用于依据预设的检测周期检测载具本体在设定方向上的距离值；控制装置用于根据距离值和预设的检测周期计算获得设定方向上的加速度波动值，并根据加速度波动值确定产品在设定方向上的镀膜均匀性。本发明提供的镀膜均匀性在线检测装置、检测方法及镀膜设备，实现了基材在镀膜过程中对镀膜均匀性的检测，从而提高了生产效率，节约了投入成本，同时可以确定在镀膜过程中，载具本体移动时加速度的变化对镀膜均匀性造成的影响，从而可以确定造成镀膜均匀性不良的原因和机理。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 均匀 在线 检测 装置 方法 设备 | ||
【主权项】：
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