[发明专利]一种污染物隔离装置以及真空度监测设备有效
| 申请号： | 201811217881.7 | 申请日： | 2018-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN111068581B | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 胡启琼 | 申请（专利权）人： | 苏州能讯高能半导体有限公司 |
| 主分类号： | B01J3/00 | 分类号： | B01J3/00;B01J3/04;G01L21/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 余剑琴 |
| 地址： | 215300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种污染物隔离装置以及真空度监测设备，涉及真空设备技术领域，该污染物隔离装置包括真空管壳、第一隔离板、第二隔离板以及连接件，第一隔离板和第二隔离板间隔设置在真空管壳内，且第一隔离板和第二隔离板之间具有隔离腔，连接件设置在隔离腔内并分别与第一隔离板和第二隔离板连接，第一隔离板上开设有第一流通孔，第二隔离板上开设有第二流通孔，第一流通孔的孔径大于或等于第二流通孔的孔径。相较于现有技术，本发明提供一种污染物隔离装置，可以有效防止产物对真空规等仪器的影响，避免设备的副产物对真空规等仪器进行污染，确保真空规等仪器测试值的准确性，延长真空规等仪器的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 污染物 隔离 装置 以及 真空 监测 设备 | ||
【主权项】：
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