[发明专利]一种高精度微流道网络制作方法在审
| 申请号： | 201811148758.4 | 申请日： | 2018-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN110963457A | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 解婧;邢建鹏;李超波 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81C3/00 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高精度微流道网络制作方法，采用了光刻、刻蚀、电铸、电镀、注塑、键合、粘接等程序，进行了微纳加工、电化学等方法的多套微流道网络高精度模具制备，突破了高质量图形结构和使用寿命的金属模具制备技术难点。该发明将微纳加工与高精度机械加工技术融合，集成微流控传感芯片跨尺度制备技术，制备出具有较大深宽比、侧壁陡峭、表面平整的精细的结构微流道网络。可以构建适用于多种微小样本的高通量、微型化、高性能微流道网络芯片，能够适用于多种终端应用，可以广泛应用于生物、化学、医学分析等科研及工程领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 微流道 网络 制作方法 | ||
【主权项】：
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