[发明专利]热处理装置及被其使用的被处理材料的支撑部件有效

专利信息
申请号: 201811103613.2 申请日: 2018-09-21
公开(公告)号: CN109671644B 公开(公告)日: 2023-04-14
发明(设计)人: 南晴男;小林直生;松本弘一 申请(专利权)人: 荣有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/687
代理公司: 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 代理人: 李鹏宇
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明为热处理装置及被其使用的被处理材料的支撑部件,在用多个支撑部件将被处理材料在热处理板上接近地配置的状态下,能对热处理板与被处理材料的间隙进行调整而稳定地支撑被处理材料。具有将被处理材料(4)对热处理板(1)接近地支撑的支撑部件(3),支撑部件(3)具有设置在孔部(2)的里侧被调整为预先决定的厚度的厚度调整部件(5)、支撑销,和按压部件。支撑销具有与厚度调整部件接触的基座部和在该基座部的与厚度调整部件侧相反侧的面上的比基座部狭窄的区域向孔部外延伸而从热处理板的表面突出预先决定的尺寸的突出部,按压部件具有能与形成在孔部的周面的被卡止部卡止的卡止部及支撑销的突出部能插通的插通孔,在卡止部与被卡止部卡止的状态下将厚度调整部件与支撑销的基座部夹着按住。
搜索关键词: 热处理 装置 使用 处理 材料 支撑 部件
【主权项】:
1.一种热处理装置,其特征在于,具备:具有加热用或冷却用的热处理部的热处理板;在所述热处理板的表面暴露地形成的多个孔部,和分别设置在所述孔部的支撑部件,所述支撑部件以将被处理材料相对于所述热处理板接近地配置的方式对所述被处理材料进行支撑,所述支撑部件具有厚度调整部件、支撑销和按压部件,所述厚度调整部件设置在所述孔部的里侧,被调整成预先决定的厚度;所述支撑销由至少热传导率比所述热处理板低的材料构成,而且被设置在所述厚度调整部件上,具有基座部和突出部,所述基座部与所述厚度调整部件接触,所述突出部在该基座部的与所述厚度调整部件侧相反侧的面上的比所述基座部狭窄的区域向所述孔部外延伸而从所述热处理板的表面突出预先决定的尺寸;所述按压部件具有能够与被形成在位于所述支撑销的突出部的周围的所述孔部的周面的被卡止部卡止的卡止部,及所述支撑销的突出部能插通的插通孔,在所述卡止部与所述被卡止部卡止的状态下将所述厚度调整部件与所述支撑销的基座部夹着按住,以使所述支撑销的突出部前端位于所述插通孔外的方式进行定位固定。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于荣有限公司,未经荣有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201811103613.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top