[发明专利]热处理装置及被其使用的被处理材料的支撑部件有效
申请号: | 201811103613.2 | 申请日: | 2018-09-21 |
公开(公告)号: | CN109671644B | 公开(公告)日: | 2023-04-14 |
发明(设计)人: | 南晴男;小林直生;松本弘一 | 申请(专利权)人: | 荣有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/687 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 李鹏宇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 热处理 装置 使用 处理 材料 支撑 部件 | ||
1.一种热处理装置,其特征在于,具备:
具有加热用或冷却用的热处理部的热处理板;
在所述热处理板的表面暴露地形成的圆形截面的多个孔部,和
分别设置在所述多个孔部的支撑部件,所述支撑部件以将被处理材料相对于所述热处理板的表面接近地配置的方式对所述被处理材料进行支撑,
所述支撑部件具有厚度调整部件、支撑销和按压部件,
所述厚度调整部件设置在所述孔部的里侧承受部,被调整成预先决定的厚度;
所述支撑销由至少热传导率比所述热处理板低的材料构成,而且被设置在所述厚度调整部件上,具有基座部和突出部,所述基座部与所述厚度调整部件接触,所述突出部在该基座部的与所述厚度调整部件侧相反侧的面上的比所述基座部狭窄的区域向所述孔部外延伸而从所述热处理板的表面突出预先决定的尺寸;
所述按压部件具有能够与被形成在位于所述支撑销的突出部的周围的所述孔部的周面的被卡止部卡止的卡止部,及所述支撑销的突出部能插通的插通孔,在使所述卡止部与所述被卡止部卡止并使所述支撑销的突出部插通所述插通孔的状态下,所述按压部件与所述支撑销的基座部接触,将所述厚度调整部件与所述支撑销的基座部相对于所述孔部的里侧承受部夹着按住,以使所述支撑销的突出部前端位于所述插通孔外的方式进行定位固定,
所述支撑销的基座部以及所述厚度调整部件都具有外径比所述孔的内径小的圆形截面,所述支撑销的基座部具有比所述厚度调整部件的外径大的外径,并且,具有比所述厚度调整部件的外径小的半径。
2.如权利要求1所述的热处理装置,其特征在于,所述厚度调整部件将预先决定的厚度的薄单位片材重叠设置了一片或多片。
3.如权利要求1所述的热处理装置,其特征在于,所述厚度调整部件由热传导率比所述支撑销低的材料构成。
4.如权利要求1所述的热处理装置,其特征在于,所述支撑销的所述突出部的前端部为曲面。
5.如权利要求1所述的热处理装置,其特征在于,所述孔部在其周面具有作为所述被卡止部的阴螺纹部,所述按压部件被形成为圆环状,在其外周面形成能拧入所述阴螺纹部的作为所述卡止部的阳螺纹部。
6.如权利要求1所述的热处理装置,其特征在于,所述按压部件具有外径大于所述支撑销的圆柱状的基座部的外径的圆环状部。
7.一种被处理材料的支撑部件,其特征在于:所述被处理材料的支撑部件用于具有具有加热用或冷却用的热处理部的热处理板和在所述热处理板的表面暴露地形成的圆形截面的多个孔部的热处理装置,所述被处理材料的支撑部件被设置在所述多个孔部,将被处理材料相对于所述热处理板的表面接近地配置,
所述被处理材料的支撑部件具有厚度调整部件、支撑销和按压部件,
所述厚度调整部件设置在所述多个孔部的里侧承受部,被调整成预先决定的厚度;
所述支撑销由至少热传导率比所述热处理板低的材料构成,而且被设置在所述厚度调整部件上,具有基座部和突出部,所述基座部与所述厚度调整部件接触,所述突出部的直径比该基座部的小并从所述热处理板的表面向孔部外突出预先决定的尺寸;
所述按压部件具有能够与被形成在位于所述支撑销的突出部的周围的所述孔部的周面的被卡止部卡止的卡止部,及所述支撑销的突出部能插通的插通孔,在使所述卡止部与所述被卡止部卡止并使所述支撑销的突出部插通所述插通孔的状态下,所述按压部件与所述支撑销的基座部接触,相对于所述孔部的里侧承受部将所述厚度调整部件与所述支撑销的基座部夹着按住,以使所述支撑销的突出部前端位于所述插通孔外的方式进行定位固定,
所述支撑销的基座部以及所述厚度调整部件都具有外径比所述孔的内径小的圆形截面,所述支撑销的基座部具有比所述厚度调整部件的外径大的外径,并且,具有比所述厚度调整部件的外径小的半径。
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