[发明专利]一种光学薄膜缺陷激光损伤阈值的测试系统及测试方法在审
| 申请号： | 201811040724.3 | 申请日： | 2018-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN108982072A | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 单翀;赵元安;高妍琦;赵晓晖;崔勇;饶大幸;刘佳妮;胡国行;马伟新 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海智力专利商标事务所(普通合伙) 31105 | 代理人： | 周涛 |
| 地址： | 201899 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光学薄膜缺陷激光损伤阈值的测试系统，该系统包括按光路依次放置的激光器、衰减器、分束器、能量计、光束质量分析仪、聚焦透镜、CCD相机、金属膜、光学薄膜、移动平台、扫描电子显微镜和电脑，激光器发出的激光束，经衰减器后到达光束分束器，光束分束器透射方向的激光束经过聚焦透镜到达金属膜，CCD相机记录激光辐照在金属膜表面的光斑位置和辐照在光学薄膜表面时的激光损伤点坐标，扫描电子显微镜记录激光辐照在光学薄膜中缺陷损伤点纵向深度位置，并完成对缺陷损伤点横向能量密度细分与纵向电场归一化处理相结合分析。本发明解决了以峰值能量密度作为缺陷损伤密度所带来的问题，从而提高测试精度。 | ||
| 搜索关键词： | 光学薄膜 辐照 激光损伤 扫描电子显微镜 光束分束器 测试系统 记录激光 聚焦透镜 激光器 激光束 金属膜 衰减器 损伤点 光束质量分析仪 光学薄膜表面 归一化处理 金属膜表面 测试 峰值能量 光斑位置 横向能量 结合分析 深度位置 透射方向 移动平台 纵向电场 点坐标 分束器 能量计 光路 损伤 电脑 | ||
【主权项】：
1.一种光学薄膜缺陷激光损伤阈值测试系统，其特征在于，该系统包括按光路依次放置的激光器(1)、衰减器(2)、光束分束器(3)、能量计(4)、光束质量分析仪(5)、聚焦透镜(6)、CCD相机(7)、金属膜(8)、光学薄膜(9)、移动平台(10)、扫描电子显微镜(11)和电脑(12)，所述激光器(1)发出的激光束，经衰减器(2)后到达光束分束器(3)，光束分束器(3)反射方向分别到达能量计(4)和光束质量分析仪(5)，光束分束器(3)透射方向经过聚焦透镜(6)到达金属膜(8)，所述CCD相机(7)记录激光辐照在金属膜(8)表面的光斑位置和辐照在光学薄膜(9)表面时的激光损伤点坐标，所述扫描电子显微镜(11)记录激光辐照在光学薄膜(9)中缺陷损伤点纵向深度位置，所述的电脑(12)经运动控制卡(13)控制电机驱动器(14)驱动步进电机(15)带动所述的移动平台(10)水平匀速运动；所述的电脑(12)经数据输出卡(16)控制调Q信号输出从而控制所述的激光器(1)激光输出；所述的能量计(4)的输出端连接至电脑(12)的第一输入端，所述的光束质量分析仪(5)的输出端连接至电脑(12)的第二输入端，所述的CCD相机(7)的输出端连接至电脑(12)的第三输入端，所述的扫描电子显微镜(11)的输出端连接至电脑(12)的第四输入端。
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- 束鑫;马云燕 - 英铂科学仪器（上海）有限公司
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- 本实用新型公开了一种光学设备测试装置，包括工作台，所述工作台的两侧内壁均开设有滑槽，且两个滑槽的两侧内壁滑动连接有同一个隔板，所述工作台底部内壁的两侧均通过螺栓固定有液压缸，且两个液压缸活塞杆顶部外壁通过螺栓固定在同一个隔板上，所述隔板顶部外壁的两侧均通过螺栓固定有电动滑轨，且两个电动滑轨的两侧内壁滑动连接有同一个固定板，所述固定板底部内壁通过螺栓固定有马达。本实用新型通过在安装箱中设置测试盘，又通过光发射器和光接收器的配合，解决了现有的测试装置不便测试光通量的问题，通过测试盘上的固定机构一侧可测试多个镜片，可拆卸的固定半环托架便于维修和更换，换上不同的托架可测试不同的镜片。
- 多芯光纤的串扰测定方法及测定装置-201780002106.7
- 齐藤翔太;竹永胜宏 - 株式会社藤仓
- 2017-01-26 - 2019-11-05 - G01M11/02
- 本发明的多芯光纤的串扰测定方法包括：拍摄虚拟光纤的端部的射出光图案，并获取入射至上述虚拟光纤的光的功率与上述射出光图案的相关数据的准备工序；使光经由上述虚拟光纤而入射至多芯光纤的一个芯，并对从上述芯射出的参考光的功率进行测定的工序；在遮掩了上述参考光的状态下，拍摄从与入射了上述光的芯不同的芯射出的串扰光，根据上述串扰光的拍摄数据以及上述相关数据对上述串扰光的功率进行推定的工序；以及根据上述参考光的功率以及上述串扰光的功率来求出串扰的工序，使用以与上述多芯光纤的端部对置的方式并且与上述多芯光纤的端部之间不隔着虚拟光纤而隔开空间而配置的照相机等来进行上述拍摄。
- 焦度计和眼镜片的光学特性的测定方法-201510909286.X
- 梶野正;栃久保裕司郎;小林俊洋 - 尼德克株式会社
- 2015-12-10 - 2019-11-01 - G01M11/02
- 本发明提供焦度计和眼镜片的光学特性的测定方法，能容易地高精度地取得眼镜片的光学特性和瞳孔间距离中的至少一方，所述眼镜片的光学特性的测定方法使用了所述焦度计和计算程序。所述焦度计具备测定放置于被设置为能分别放置眼镜的左右的眼镜片的左右一对放置部上的左右的眼镜片的各片的左右一对测定光学系统、以及基于通过测定得到的眼镜片的测定结果计算光学特性的控制部，所述控制部基于计算出的光学特性，计算将测定光学系统的光轴作为基准的眼镜片的光学中心的偏移量，并且基于所述偏移量对光学特性和瞳孔间距离中的至少一方进行修正处理。
- 用于高能粒子束流实验的光源测试系统-201822053300.2
- 王瑞杰;董永伟;权征 - 中国科学院高能物理研究所
- 2018-12-07 - 2019-11-01 - G01M11/02
- 本实用新型公开了一种用于高能粒子束流实验的光源测试系统，包括：光电倍增管外壳，光电倍增管外壳内部开设有方形槽、具有第一直径的第一圆孔以及具有第二直径的第二圆孔，其中，在光电倍增管外壳上一体成型有对外安装面；光电倍增管，光电倍增管设置于光电倍增管外壳内部；硅酸钇镥闪烁晶体，硅酸钇镥闪烁晶体设置于方形槽内；前盖，前盖位于光电倍增管外壳的一端；后盖，后盖位于光电倍增管外壳的另一端，通过第二螺钉以及第三螺钉与光电倍增管外壳固定连接；以及后端电子学，后端电子学设置于光电倍增管与后盖之间。本实用新型的光源测试系统当前端插入到下机箱内部，对外安装面能够与下机箱的前面板配合达到避光的效果。
- 一种Lens扫描耦合测试机台-201910766803.0
- 邹支农 - 苏州天孚精密光学有限公司
- 2019-08-20 - 2019-10-29 - G01M11/02
- 本发明涉及一种Lens扫描耦合测试机台，包括装夹台、升降装置、光测试机构、控制主机和显示器，装夹台上设有上下贯穿的产品定位槽，产品定位槽内设有lens产品件，升降装置设置在装夹台的下方，光测试机构设置在产品定位槽的下方，光测试机构、控制主机和显示器依次连接，光测试机构包括可沿X轴、Y轴方向移动的调节平台、输入光发射装置、输出光接收装置和调节管，该Lens扫描耦合测试机台，具有测试精度高、效率快，操作方便等优点；利于产品量产功能性巡检起到稳定的控制，降低功能性异常及异常成本堆积的风险；适用于单通道lens，多通道Lens产品等其他同类产品的功能测试，大幅度降低设备的开发成本。
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