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[发明专利]一种激光自适应减薄剥离半导体材料的装置及方法-CN202310764884.7在审
发明人：单翀;耿靖骅;焦健;胡北辰;隋展;赵晓晖;崔勇;高妍琦;季来林;饶大幸;夏兰;冯伟;刘栋;史建;蔡国栋;朱翔宇 -专利权人： 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所
申请日： 2023-06-27 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： B23K26/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光自适应减薄剥离半导体材料的装置及方法，通过在激光加工装置中引入激光测距仪，对加工过程中材料发生的翘曲以及材料表面存在的凹凸缺陷信息进行实时测量；同时引入红外热成像仪，对加工过程中聚焦系统的温度进行实时监控，并将以上测量得到的信息传输给计算机，经过运算分析后实时反馈给衰减器、空间光调制器以及Z轴位移平台，对加工参数进行实时调整，实现激光精密减薄剥离半导体材料的加工。本发明不仅解决了接触式加工带来的损耗大、效率低的问题，同时也提高了激光改质剥离技术的加工精度，为降低第三代半导体材料的使用成本提供了可靠的帮助。
一种激光自适应剥离半导体材料装置方法

[发明专利]一种多波长激光耦合剥离半导体材料的设备及方法-CN202310783527.5在审
发明人：单翀;耿靖骅;焦健;胡北辰;隋展;赵晓晖;崔勇;高妍琦;季来林;孙今人;饶大幸;夏兰;冯伟;刘栋;史建;蔡国栋;朱翔宇 -专利权人： 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所
申请日： 2023-06-29 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种多波长激光耦合剥离半导体材料的设备及方法，通过将多波长激光耦合辐照至半导体材料内，利用光子能量更高的短波长激光将价带的电子跃迁至导带形成自由电子，随后利用长波长激光对自由电子进行吸收，并产生热应力差，进而诱导半导体材料改质，最终实现剥离，有效地解决了传统机械切割碳化硅损耗大、难度高等问题，同时也解决了已有激光剥离方法采用单波长基频激光需要高功率且难以控制工艺等问题，不仅使得半导体材料剥离更加容易、损耗更低，同时也使得改质工艺更加精密可控，为碳化硅的广泛应用提供可靠的帮助。
一种波长激光耦合剥离半导体材料设备方法

[发明专利]一种高硬度纳米周期光栅的制备方法-CN202310368585.1在审
发明人：单翀;焦健;赵晓晖;崔勇;高妍琦;季来林;饶大幸;夏兰;冯伟;刘栋;史建;蔡国栋;朱翔宇 -专利权人： 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所
申请日： 2023-04-07 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种高硬度纳米周期光栅的制备方法，该方法首先利用激光强化装置进行光栅制备材料的表面冲击强化；接着对强化后的光栅制备材料进行清洗抛光处理；最后利用纳米周期光栅制备激光系统，对抛光后的光栅制备材料进行加工，制备得到纳米周期光栅。通过本申请提出的高硬度纳米周期光栅的制备方法，制备得到的纳米周期光栅结构具有高强度、耐磨性好的特点，克服了传统制备纳米周期光栅极为脆弱的问题，大大降低了使用维护成本，并且扩展了更多极端条件下的应用场景。
一种硬度纳米周期光栅制备方法

[发明专利]一种条纹相机图像边缘提取的方法-CN202110433971.5有效
发明人：郭尔夫;于广泽;邓爱东 -专利权人： 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所
申请日： 2021-04-22 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： G06T7/13 文献下载
摘要：本发明公开了一种条纹相机图像边缘提取的方法，用于提取条纹相机所获得的图像，所述方法包括：读入所述图像，并沿列方向进行扫描，对于每一列扫描获得的图像的提取方法包括：获得当前列上不同距离上的光强大小的二维图像，所述二维图像包括表示光强v大小的纵坐标和表示距离i大小的横坐标；获取所述二维图像中光强最大值v_max，并记录其对应的横坐标位置i_max；在从i_max开始到当前列结束的区间内，找到光强最小值v_min，记录其对应的横坐标位置i_min；在从i_max到i_min的区间内，从左至右按顺序逐点检查，如果当前点的光强下降到低于成像区域的预定数值时，记录该点作为当前列的边缘点。
一种条纹相机图像边缘提取方法

[实用新型]一种固体激光器中晶体端面散热装置-CN202320265316.8有效
发明人：吴广;高妍琦;季来林;崔勇;史建;单翀;郑权 -专利权人： 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所
申请日： 2023-02-20 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： H01S3/042 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种固体激光器中晶体端面散热装置，该装置包括：连接板、安装板和导热板；连接板底部安装有水冷散热鳍片；安装板固定在连接板顶部，安装板上可移动地安装有一对夹板，一对夹板相对的表面安装多组出风风扇，相互远离的表面上安装无刷风机，无刷风机输出端正对出风风扇；导热板安装在一对夹板的顶部，导热板顶部固定连通板，且连通板的内部与导热板的内部连通，连通板连接进水水泵和出水水泵，进水水泵和出水水泵均固定在连接板上，且与水冷散热鳍片连接。本实用新型提出的固体激光器中晶体端面散热装置采用顶部底部水冷+侧面风冷的散热方式，散热效果相较现有技术明显提高。
一种固体激光器晶体端面散热装置

[发明专利]一种激光冲击强化设备及方法-CN202310219357.8在审
发明人：孟宪凯;张韩;单翀;周建忠;吴重军;郭维诚 -专利权人：江苏大学;中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所;东华大学
申请日： 2023-03-08 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： C21D10/00 文献下载
摘要：本发明提供一种激光冲击强化设备及方法，属于激光冲击强化技术领域，其可至少部分解决现有的激光能量利用不充分而导致激光冲击强化效果差的问题。本发明的激光冲击强化设备包括激光发生系统，包括激光器、工件控制系统、光束控制系统，光束控制系统设置在激光发生系统与工件控制系统之间，光束控制系统包括固定在光路平台上的分光镜、合束镜、反射镜、光电探头、聚焦镜；分光镜和合束镜均为双面覆膜透镜，双面覆膜透镜具有镀制有半反半透膜和全透膜的半反半透面；通过将一束激光分两束或者四束激光，通过反射镜阵列在光束间增加一定的时间间隔合束并聚焦辐照工件表面来完成激光冲击强化过程，提高激光冲击强化的效果。
一种激光冲击强化设备方法

[发明专利]一种基于宽带光空域-谱域显微干涉术的微位移量传感装置及测量方法-CN202310080777.2在审
发明人：郑权;崔勇;季来林;饶大幸;贺瑞敬;刘佳;史建;张发旺 -专利权人： 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所
申请日： 2023-02-08 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明提供一种基于宽带光空域‑谱域显微干涉术的微位移量传感装置，该装置包括宽带光源、柯勒照明系统、显微镜筒、干涉物镜、被测件、精密电控平台、分束器、科学CCD、导光光纤、多通道光谱仪和计算机，还涉及一种微位移量测量方法。本发明的装置及方法为非接触式位移量传感，不会对测量件造成损伤，测量过程无需轴向扫描，测量效率高，时间短，可实现即时测量；该测量方法结合了宽带光的空域干涉法和谱域干涉法，由空域干涉条纹进行小位移量传感，谱域干涉条纹进行大位移量传感，测量范围无“死区”，可实现±1mm范围内的高精度微位移量传感；系统横向分辨率高，尤其是在微加工等领域的光学元件高精度检测中能满足需求。
一种基于宽带空域显微干涉位移传感装置测量方法

[发明专利]一种通过图像测量两个目标之间距离的方法-CN202110434259.7有效
发明人：于广泽;郭尔夫;邓爱东 -专利权人： 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所
申请日： 2021-04-22 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G01B11/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种通过图像测量两个目标之间距离的方法，两个目标设为A和B，A和B处于互相垂直的两个平面内，所述方法包括：在A和B处，设置均为矩形且长宽已知的第一靶标和第二靶标，并且使得第一靶标的一条边和第二靶标的一条边平行；成像装置获得同时包含第一靶标、第二靶标的测量图像；计算出第一靶标到测量图像的第一单应矩阵，第二靶标到测量图像的第二单应矩阵；假设,A在其所在平面内经过两个方向上的平移分别为dx、dy后到达A’，并且，B在其所在平面内经过一个方向上的平移为dz后到达B'，A’和B’与所述成像装置共线。
一种通过图像测量两个目标之间距离方法

[发明专利]一种多波长耦合激光冲击强化的装置及使用方法-CN202211561183.5在审
发明人：单翀;孔令豹;邓阳俊;赵晓晖;崔勇;季来林;孟宪凯;李福建;饶大幸;夏兰;冯伟;郑权;朱翔宇;史建;高妍琦 -专利权人： 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所
申请日： 2022-12-07 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： H01S3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种多波长耦合激光冲击强化的装置及使用方法，该装置及使用方法将短波长激光和长波长激光耦合作用引入至激光冲击强化作业中，针对不同加工材料实现了多波长激光选取、能量配比、时间延迟以及实时监测的精密自动化调节，实现多波长激光耦合冲击强化的加工，提高了激光冲击强化效果，为研究材料冲击强化特性提供借鉴。
一种波长耦合激光冲击强化装置使用方法

[发明专利]一种用于强激光加载物理实验自支撑薄膜靶部件的制备方法-CN202110324522.7有效
发明人：叶君建;谢志勇;贾果;舒桦;涂昱淳;董佳钦;王佩佩;孙今人;张帆;方智恒;王伟;黄秀光;傅思祖 -专利权人： 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所
申请日： 2021-03-26 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： B21D22/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于强激光加载物理实验自支撑薄膜靶部件的制备方法，所述靶部件的厚度在1‑100μm，所述制备方法包括：采用所需要厚度的薄膜，将薄膜置于冲压设备之中，通过设置底模和与之相配合的冲头，制成圆形、方形和/或环形的靶部件，所述环形的靶部件的通孔偏心。通过一套模具的制备、可解决一类构型靶部件的加工，制作工艺简单、加工精度高、制造成本低。
一种用于激光加载物理实验支撑薄膜部件制备方法

[发明专利]对激光束入射角度相对误差不敏感的色谱合成装置及方法-CN202011509296.1有效
发明人：郑权;隋展;高妍琦;崔勇;季来林;李小莉;刘佳妮;谢庆南;饶大幸;华怡林;刘佳;史建;赵晓晖;单翀 -专利权人： 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所
申请日： 2020-12-18 - 公布日： 2023-02-10 - 主分类号： H01S3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种对激光束入射角度相对误差不敏感的色谱合成装置及方法，该色谱合成装置通过在普通的二向色镜上添加特殊的分区镀膜构成复合色谱合成镜，通过将该复合色谱合成镜与角锥棱镜配合使用，使两支激光束的光路中均只存在一次反射，从而避免因色谱合成装置与两束待合束的激光束之间的相对角度误差而引起的合束激光光轴的指向偏差，从而提高了色谱合成激光束的亮度和光束质量。
激光束入射角度相对误差敏感色谱合成装置方法

[发明专利]一种光学元件激光损伤增长阈值的测试装置及方法-CN202211062433.0在审
发明人：单翀;李福建;夏兰;朱翔宇;崔勇;季来林;冯伟;赵晓晖;高妍琦;饶大幸;史建 -专利权人： 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所
申请日： 2022-08-31 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种光学元件激光损伤增长阈值的测试装置及方法，本发明通过以损伤后入射光斑的调制度以及透过率作为依据，将传统测试方法中忽略的由于损伤产生的光场调制以及能量损耗效应进行分析，得到光学元件损伤增长过程中的功能性损伤增长阈值，从而规避了传统测试方法中只考虑损伤面积增长，而忽略损伤对于元件对装置产生影响以及元件本身功能性影响的评价，本发明的测试装置及测试方法不仅提高了测试精度，也为高功率激光装置中光学元件损伤阈值测试中提供了新的评价体系，并提供了更多相应的损伤信息。
一种光学元件激光损伤增长阈值测试装置方法

[发明专利]一种超声辅助激光喷丸复合强化的设备及方法-CN202210915110.5在审
发明人：孟宪凯;冷旭忞;袁志超;周吉;单翀;张彦虎;李建伟 -专利权人：江苏大学;北京空间机电研究所;中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所
申请日： 2022-07-29 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： C21D10/00 文献下载
摘要：本发明属于激光喷丸复合强化领域，提供一种超声辅助激光喷丸复合强化的设备及方法。其可至少部分解决现有的超声冲击装置难以激光喷丸装置随动的问题。本发明的超声辅助激光喷丸复合强化的设备，包括激光喷丸装置、超声装置、旋转机构、传动装置、可调机械平台，所述传动机构包括依次连接的蜗轮蜗杆传动装置、皮带轮传动装置、凸型轴、齿轮传动装置，所述蜗轮蜗杆装置安装在所述下底板上，所述蜗轮蜗杆传动装置的输入轴与电机连接，所述旋转机构与所述齿轮传动装置连接，所述旋转机构上安装有所述激光喷丸装置和所述超声装置，所述齿轮传动装置能够带动旋转机构转动。
一种超声辅助激光复合强化设备方法

[发明专利]一种大量程便携式多功能电子磁谱仪-CN202110324787.7有效
发明人：安红海;熊俊;王伟;王琛;雷安乐;王瑞荣;张慧欣;汪小青 -专利权人： 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所
申请日： 2021-03-26 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： G01T1/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种大量程便携式多功能电子磁谱仪，所述磁谱仪包括磁体装置和电子记录装置，所述磁体装置产生的磁场区域具有大于5的长宽比，所述磁谱仪测量的电子束以平行于所述磁场区域长度方向的射入方向进入所述磁场区域，使得所述电子束以角度小于180°的弧形轨迹撞击在所述电子记录装置上。本发明的待测电子进入均匀间隙磁场时采取低于半圆运动轨迹被两侧探测器接收的方式，其可显著缩小均匀磁场横向尺寸，大幅提高测谱范围和降低整体横向尺寸，降低整体重量。
一种量程便携式多功能电子磁谱仪

[发明专利]用于铝离子比率型检测的铕基金属有机框架材料及其制备方法-CN202210916113.0在审
发明人：岳丹;陈栋;万雅婷;李卫东;张丽沙;王振领 -专利权人：河南工程学院;中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所
申请日： 2022-08-01 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： C08G83/00 文献下载
摘要：本发明属于稀土发光材料技术领域，涉及金属有机框架材料的制备，具体涉及用于铝离子比率型检测的铕基金属有机框架材料及其制备方法。其制备方法为：将铕盐与2‑硝基‑[1,1′:4′,1″]三联苯‑3,3″,5,5″‑四甲酸溶于N,N‑二甲基甲酰胺和H2O中得到混合溶液，加入硫酸后加热，离心、洗涤，得到用于铝离子比率型检测的铕基金属有机框架材料。本发明公开的合成方法简单，产率较高。制得的铕基金属有机框架材料可以实现对铝离子比率型检测，检测范围为0‑100μM，检测限为0.014μM。
用于离子比率检测基金有机框架材料及其制备方法

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