[发明专利]一种织构化Ta/Ag宽温区自润滑涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201810930269.8 | 申请日： | 2018-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN109338287B | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 李建亮;张夏菲;王俊;李航;熊党生 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/16;C23C14/35;B23K26/00 |
| 代理公司： | 南京苏创专利代理事务所(普通合伙) 32273 | 代理人： | 张学彪 |
| 地址： | 210094 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种织构化Ta/Ag宽温区自润滑涂层的制备方法，包括以下步骤：1)、基材的预处理；2)、溅射沉积Ta过渡层；3)、表面织构化处理：4)、溅射沉积Ag润滑相，得到织构化Ta/Ag宽温区自润滑涂层。本发明的织构化Ta/Ag宽温区自润滑涂层的制备方法的激光织构化处理过程中，Ta涂层的热影响区小，化学性质稳定，孔边缘粗糙度低，低的粗糙度有助于润滑膜的铺展与润滑寿命的延长。Ta作为过渡层改善了基体与Ag润滑膜之间的结合能力，可起到优异的承载效果；织构微孔可在摩擦过程中存储银磨屑颗粒，延长表面润滑膜寿命；微孔的深度远大于Ta过渡层的厚度，这种贯穿过渡层的孔，可有效消除孔加工中的应力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 织构化 ta ag 宽温区 润滑 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种织构化Ta/Ag宽温区自润滑涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1）、基材的预处理：利用砂纸打磨去除表面锈层和氧化层，抛光成镜面，清洗并烘干，得到预处理的基材；2）、溅射沉积Ta过渡层：采用第一直流磁控溅射方法，在步骤1）得到的预处理的基材表面溅射一层Ta作为过渡层；3）、表面织构化处理：用Nd:YAG脉冲激光器对步骤2中的Ta过渡层刻蚀微孔，得到织构化的Ta过渡层；4）、溅射沉积Ag润滑相：采用第二直流磁控溅射方法，在步骤3）得到的织构化的Ta过渡层表面溅射Ag作为润滑剂，得到织构化Ta/Ag宽温区自润滑涂层。
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