[发明专利]靶材移动装置及使用方法在审
| 申请号： | 201810897165.1 | 申请日： | 2018-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN110819946A | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;丁向前 | 申请（专利权）人： | 合肥江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 237400 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种靶材移动装置及使用方法，靶材移动装置包括：主导轨支架，所述主导轨支架内具有凹部；主工作台，设置于所述主导轨支架上，适于沿所述主导轨支架作前后移动；主丝杠，所述主丝杠位于所述主导轨支架的凹部内，且与所述主工作台连接；旋转电机，位于所述主工作台上；主移动电机，设置于所述主导轨支架上，适于驱动所述主丝杠运动。所述靶材移动装置有助于提高靶材移动及旋转操作的安全性，并有利于提高作业效率。 | ||
| 搜索关键词： | 移动 装置 使用方法 | ||
【主权项】：
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