[发明专利]一种晶硅太阳能PERC电池用的石墨舟及其饱和工艺在审
| 申请号： | 201810865400.7 | 申请日： | 2018-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN109244019A | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 张欣;林纲正;方结彬;陈刚 | 申请（专利权）人： | 浙江爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人： | 侯莉 |
| 地址： | 322000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种晶硅太阳能PERC电池用的石墨舟及其饱和工艺，所述石墨舟包括石墨舟本体，在所述石墨舟本体的全部表面上镀有SiC膜。本发明石墨舟饱和工艺中在石墨舟上镀SiC膜，SiC膜具有良好的耐腐蚀性，因此，在背钝化工艺中不会被笑气腐蚀，可使石墨舟表面平整，不但起到了保护石墨舟的作用，延长了石墨舟的使用寿命，而且保证了背钝化薄膜的均匀性，降低了碎片率。同时，由于SiC薄膜具有优异的耐磨性能，可降低摩擦带来的EL划伤，并使后续的饱和工艺时间大大缩短，从而提高了机台的产能。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨舟 饱和 电池用 种晶 太阳能 机台 表面平整 钝化薄膜 钝化工艺 降低摩擦 耐腐蚀性 耐磨性能 使用寿命 均匀性 碎片率 产能 划伤 笑气 腐蚀 保证 | ||
【主权项】：
1.一种晶硅太阳能PERC电池用的石墨舟，包括石墨舟本体，其特征在于：在所述石墨舟本体的全部表面上镀有SiC膜。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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