[发明专利]一种具有倒片检测装置的石墨舟侧向出舟机构有效
| 申请号： | 201611117340.8 | 申请日： | 2016-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN106783675B | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 文鸥;张勇 | 申请（专利权）人： | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 胡朝阳;尹彦 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区横*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种具有倒片检测装置的石墨舟侧向出舟机构，石墨舟放置于侧向出舟机构的石墨舟承载座上，石墨舟上沿其整个宽度并列设置有多个槽，每个槽沿所述石墨舟的整个长度延伸，每个槽内放置有硅片，侧向出舟机构带动石墨舟运动，该倒片检测装置包括多个反光座和多个光电开关，所述石墨舟的下方沿其整个长度间隔设置所述多个反光座，所述石墨舟的上方沿其整个宽度设置所述多个光电开关，每个光电开关对应于所述石墨舟上的一个槽。该具有倒片检测装置的石墨舟侧向出舟机构能够检测到石墨舟中的倒片，并将具有倒片的石墨舟进行退舟并返回至自动插片机予以人工纠正，避免因石墨舟中存在倒片而导致硅片镀膜不良而造成和硅片浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 检测 装置 石墨 侧向 机构 | ||
【主权项】：
1.一种具有倒片检测装置的石墨舟侧向出舟机构，石墨舟放置于侧向出舟机构的石墨舟承载座上，石墨舟上沿其整个宽度并列设置有多个槽，每个槽沿所述石墨舟的整个长度延伸，每个槽内放置有硅片，侧向出舟机构带动石墨舟运动，该倒片检测装置包括多个反光座和多个光电开关，所述石墨舟的下方沿其整个长度间隔设置所述多个反光座，所述石墨舟的上方沿其整个宽度设置所述多个光电开关，每个光电开关对应于所述石墨舟上的一个槽，其特征在于，所述多个反光座固定在所述石墨舟承载座上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，未经深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201611117340.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：超薄晶圆翘曲的控制方法
- 下一篇：一种UV膜上芯片的刮出装置
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
