[发明专利]双面曝光机及双面曝光方法在审
| 申请号： | 201810835176.7 | 申请日： | 2018-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN108983556A | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 汪孝军;廖平强;张胜 | 申请（专利权）人： | 中山新诺科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 刘培培 |
| 地址： | 528437 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种双面曝光机及双面曝光方法，双面曝光机包括工作台；曝光机构，曝光机构包括第一曝光组件和第二曝光组件，第一曝光组件和第二曝光组件在工作台形成曝光区；及装载机构，装载机构包括第一装载台和第二装载台，第一装载台和第二装载台均能够沿工作台移动。第一装载台移动、并通过曝光区进行第一待曝光件的曝光，第二装载台装载第二待曝光件，第一待曝光件曝光完成后第一装载台回退，第二装载台移动、并通过曝光区进行第二待曝光件的曝光，进而利用第二装载台曝光的同时进行第一装载台上第一待装载件的卸载和装载，不仅便于实现自动化曝光，而且还提高了曝光效率，同时无需翻转，减少了曝光流程，提高了曝光精度。 | ||
| 搜索关键词： | 装载台 曝光 曝光组件 双面曝光机 曝光区 装载 曝光机构 双面曝光 装载机构 工作台 工作台移动 曝光流程 曝光效率 装载件 翻转 回退 卸载 移动 自动化 | ||
【主权项】：
1.一种双面曝光机，其特征在于，包括：工作台，所述工作台设有曝光通孔；曝光机构，所述曝光机构包括第一曝光组件和第二曝光组件，所述第一曝光组件和所述第二曝光组件分别设于所述工作台的两侧、并在所述工作台形成曝光区，所述曝光区与所述曝光通孔对应设置；及装载机构，所述装载机构包括第一装载台和第二装载台，所述第一装载台和所述第二装载台均能够沿所述工作台移动、并通过所述曝光区进行曝光。
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