[发明专利]一种可调整光源的光化学加工平台及其加工方法有效
申请号: | 201810829046.2 | 申请日: | 2018-07-25 |
公开(公告)号: | CN108857841B | 公开(公告)日: | 2023-09-29 |
发明(设计)人: | 曾晰;郗枫飞;郑倩倩;何兴 | 申请(专利权)人: | 浙江工业大学 |
主分类号: | B24B29/02 | 分类号: | B24B29/02;B24B41/00;B24B41/02;B24B41/04;B24B41/06;B24B51/00;B24B57/02 |
代理公司: | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人: | 王兵;黄美娟 |
地址: | 310014 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种可调整光源的光化学加工平台及其加工平台,包括:抛光装置,包括柔性抛光装置和夹持装置,柔性抛光装置安装在夹持装置的活动端,用于加工工件;抛光工作台,用于夹紧工件并浸泡工件;可调整光源装置,用于调整光源位置,使其对准抛光工作台上的工件并对工件进行照射;抛光液补加装置,设置于抛光工作台旁,并且其加液口位于抛光工作台的抛光池正上方,用于向抛光工作台中添加抛光液;以及控制柜,与抛光装置、抛光工作台、可调整光源装置以及抛光液补加装置电连接或信号连接。本发明的有益效果是:对工件照射位置、照射强度、照射角度适应性调整,提高光化学的效果,提高光化学加工的效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 可调整 光源 光化学 加工 平台 及其 方法 | ||
【主权项】:
1.一种可调整光源的光化学加工平台,其特征在于,包括:抛光装置,包括柔性抛光装置和夹持装置,柔性抛光装置安装在夹持装置的活动端,用于加工工件;抛光工作台,用于夹紧工件并浸泡工件;可调整光源装置,用于调整光源位置,使其对准抛光工作台上的工件并对工件进行照射;抛光液补加装置,设置于抛光工作台旁,并且其加液口位于抛光工作台的抛光池正上方,用于向抛光工作台中添加抛光液;以及控制柜,与抛光装置、抛光工作台、可调整光源装置以及抛光液补加装置电连接或信号连接,用于控制抛光装置、抛光工作台、可调整光源装置以及抛光液补加装置工作以对工件进行加工。
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