[发明专利]一种加速铜沉积添加剂及其制备方法和应用有效

专利信息
申请号: 201810795896.5 申请日: 2018-07-19
公开(公告)号: CN108914171B 公开(公告)日: 2020-05-19
发明(设计)人: 罗继业;李真;成晓玲;郝志峰;何军 申请(专利权)人: 广东工业大学
主分类号: C25D3/38 分类号: C25D3/38
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 赵青朵
地址: 510006 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供了一种加速铜沉积添加剂及其制备方法和应用,所述加速铜沉积添加剂具有式(I)所示结构;式(I)中,6≤n≤10。本发明提供的加速铜沉积添加剂同时具有双硫键和磺酸基,更重要的是,通过向分子中引入长度适中的碳链结构,在保证添加剂分子水溶性的同时,增加了添加剂分子在铜表面吸附的致密度,使其在电镀过程中能更好的协同氯离子加速铜离子的沉积;本发明提供的加速铜沉积添加剂加速效果强,进一步制备的电镀液满足高纵横比盲孔的填孔要求的同时,能够提高电镀生产效率。实验结果表明,将本发明提供的加速铜沉积添加剂用于铜电镀液,能够满足纵横比超过1的盲孔超等角电镀要求,适应未来电子产品发展方向,具有广阔的应用前景。
搜索关键词: 一种 加速 沉积 添加剂 及其 制备 方法 应用
【主权项】:
1.一种加速铜沉积添加剂,具有式(I)所示结构:式(I)中,6≤n≤10。
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