[发明专利]一种加速铜沉积添加剂及其制备方法和应用有效
申请号: | 201810795896.5 | 申请日: | 2018-07-19 |
公开(公告)号: | CN108914171B | 公开(公告)日: | 2020-05-19 |
发明(设计)人: | 罗继业;李真;成晓玲;郝志峰;何军 | 申请(专利权)人: | 广东工业大学 |
主分类号: | C25D3/38 | 分类号: | C25D3/38 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 赵青朵 |
地址: | 510006 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供了一种加速铜沉积添加剂及其制备方法和应用,所述加速铜沉积添加剂具有式(I)所示结构;式(I)中,6≤n≤10。本发明提供的加速铜沉积添加剂同时具有双硫键和磺酸基,更重要的是,通过向分子中引入长度适中的碳链结构,在保证添加剂分子水溶性的同时,增加了添加剂分子在铜表面吸附的致密度,使其在电镀过程中能更好的协同氯离子加速铜离子的沉积;本发明提供的加速铜沉积添加剂加速效果强,进一步制备的电镀液满足高纵横比盲孔的填孔要求的同时,能够提高电镀生产效率。实验结果表明,将本发明提供的加速铜沉积添加剂用于铜电镀液,能够满足纵横比超过1的盲孔超等角电镀要求,适应未来电子产品发展方向,具有广阔的应用前景。 | ||
搜索关键词: | 一种 加速 沉积 添加剂 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
1.一种加速铜沉积添加剂,具有式(I)所示结构:
式(I)中,6≤n≤10。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东工业大学,未经广东工业大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201810795896.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。