[发明专利]蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法、蒸镀掩模的制造方法及显示装置的制造方法有效
| 申请号： | 201810694337.5 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN109468583B | 公开（公告）日： | 2020-03-06 |
| 发明（设计）人： | 新纳干大;寺田玲尔;西辻清明 | 申请（专利权）人： | 凸版印刷株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H05B33/10;H01L51/56 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 白丽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够提高通过蒸镀所形成的图案的精度的蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法、蒸镀掩模的制造方法及显示装置的制造方法。用于形成蒸镀掩模的金属板的宽度方向的各位置上的沿着金属板的长度方向的形状具有在金属板的长度方向上反复的波浪，连接波浪中的一个谷至另一个谷的直线的长度为波浪的长度，所述波浪高度相对于波浪长度的百分率为单位陡峭度，长度方向上包含的全部波浪的单位陡峭度的平均值为陡峭度，金属板的宽度方向上的中央部RC的陡峭度的最大值为0.3％以下，金属板的宽度方向上的各端部RE的陡峭度的最大值为0.6％以下，金属板的宽度方向上的两端部RE中的至少一个端部的陡峭度的最大值比金属板的宽度方向的中央部RC的陡峭度的最大值小。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩模用 基材 制造 方法 蒸镀掩模 显示装置 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀掩模用基材，其是通过蚀刻形成多个孔而用于制造蒸镀掩模的具有带状的金属板，其中，所述金属板的宽度方向的各位置上的沿着所述金属板的长度方向的形状相互间不同，各形状具有在所述金属板的长度方向上反复的波浪，连接所述波浪中的一个谷至另一个谷的直线的长度为波浪的长度，所述波浪的高度相对于所述波浪的长度的百分率为单位陡峭度，所述金属板的宽度方向的各位置上，所述长度方向上包含的全部波浪的单位陡峭度的平均值为陡峭度，所述金属板的宽度方向上的中央部的陡峭度的最大值为0.3％以下，所述金属板的宽度方向上的各端部的陡峭度的最大值为0.6％以下，所述金属板的宽度方向上的两端部中的至少一个端部的陡峭度的最大值比所述金属板的宽度方向的中央部的陡峭度的最大值小，一个所述端部的陡峭度的最大值和另一个所述端部的陡峭度的最大值比所述中央部的陡峭度的最大值小，所述两端部的陡峭度的最大值和所述中央部的陡峭度的最大值为0.2％以下。
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