[发明专利]一种GaAs基外延片的固态扩锌方法在审

专利信息
申请号: 201810676838.0 申请日: 2018-06-27
公开(公告)号: CN108878273A 公开(公告)日: 2018-11-23
发明(设计)人: 朱振;张新;徐现刚 申请(专利权)人: 潍坊华光光电子有限公司
主分类号: H01L21/225 分类号: H01L21/225
代理公司: 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 代理人: 杨树云
地址: 261061 山东省潍坊市奎文区*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 一种GaAs基外延片的固态扩锌方法,在GaAs外延片上设置ZnO薄膜作为锌源进行锌扩散。所述的ZnO薄膜是通过溅射方式设置在所述GaAs外延片上的。所述锌扩散所处的温度为450‑550℃,锌扩散的的气氛为惰性气体,优选的,所述惰性气体为氮气。本发明的锌扩散源为ZnO薄膜,固态源,扩散过程的重复性及一致性较好。本发明采用溅射方法制备ZnO薄膜时,会在外延层表面形成一个损伤层,在进行锌扩散时,锌原子可以顺着这些损伤缺陷很容易进入外延层。本发明使用MOCVD反应室进行锌扩散,热传递方式为热传导,使外延片温度变化很快,整个外延片的温度均匀性很好,从而使扩散的均匀性及一致性很好。
搜索关键词: 外延片 锌扩散 惰性气体 溅射 氮气 热传递方式 外延层表面 温度均匀性 扩散 方式设置 锌扩散源 固态源 均匀性 热传导 损伤层 外延层 锌原子 锌源 优选 制备 损伤
【主权项】:
1.一种GaAs基外延片的固态扩锌方法,其特征在于,在GaAs外延片上设置ZnO薄膜作为锌源进行锌扩散。
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