[发明专利]一种用于计算光刻的集成神经网络有效
| 申请号： | 201810600924.3 | 申请日： | 2018-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN108665060B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 时雪龙;赵宇航;陈寿面;李铭 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | G06N3/04 | 分类号： | G06N3/04;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;马盼 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种用于计算光刻的集成神经网络，包括共轭神经网络和前向神经网络，且所述共轭神经网络的输出端连接所述前向神经网络的输入端；所述共轭神经网络用于提取计算光刻的特征矢量，并将提取出来的特征矢量输入所述前向神经网络中，其中，所述共轭神经网络提取计算光刻的特征矢量的方法为：Y |
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| 搜索关键词： | 一种 用于 计算 光刻 集成 神经网络 | ||
【主权项】：
1.一种用于计算光刻的集成神经网络，其特征在于，所述集成神经网络包括共轭神经网络和前向神经网络，且所述共轭神经网络的输出端连接所述前向神经网络的输入端；所述共轭神经网络用于提取计算光刻的特征矢量，并将提取出来的特征矢量输入所述前向神经网络中，其中，所述共轭神经网络提取计算光刻的特征矢量的方法为：Yj＝∑iWijXi，![]()
其中，Zj为提取出来的特征矢量，Wij为所述共轭神经网络的参数，Xi为光罩上第i个点的邻近环境，![]()
为Yj的共轭。
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