[发明专利]一种CIGS电极用钛铝合金复合靶材材料及其制备方法在审
| 申请号： | 201810583455.9 | 申请日： | 2018-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN108914070A | 公开（公告）日： | 2018-11-30 |
| 发明（设计）人： | 王家和;黄信二 | 申请（专利权）人： | 研创应用材料（赣州）股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;H01L31/0224 |
| 代理公司： | 南昌华成联合知识产权代理事务所(普通合伙) 36126 | 代理人： | 张建新 |
| 地址： | 341000 江西省赣州市章贡*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种CIGS电极用钛铝合金(钛铝硅酸钠或钛铝硅酸钾)复合靶材材料及其制备方法。该钛铝合金复合靶材，包含钛元素和铝元素，其特征在于，还包含钠元素或钾元素，钛元素所占整个复合靶材的比例为52.5～71.25at％，铝元素所占整个复合靶材的比例为17.5～23.75at％，钠元素或钾元素所占整复合靶材的比例为5～30at％。制备方法包括如下步骤：钛粉末、铝粉末和硅酸钠粉末经V型混拌机混合后，放入合金钢的模具中，通过热压机热压成型，得钛铝合金复合靶材；其中，压力约为200～400MPa，热压的温度约为450～600℃。采用低成本的热压方式来制造此靶材，设备成本较低。本发明的靶材应用于CIGS电池的一层或二层之下电极膜层镀膜，由于原料成本较低且镀率高，因此能降低溅镀膜层成本。 | ||
| 搜索关键词： | 复合靶材 钛铝合金 制备 钾元素 铝元素 钠元素 钛元素 电极 靶材 热压 钛铝 合金钢 硅酸钠粉末 电极膜层 热压成型 设备成本 原料成本 低成本 镀膜层 硅酸钾 硅酸钠 混拌机 铝粉末 热压机 钛粉末 镀膜 二层 放入 模具 应用 制造 | ||
【主权项】：
1.一种钛铝合金复合靶材，包含钛元素和铝元素，其特征在于，还包含钠元素或钾元素，钛元素所占整个复合靶材的比例为52.5～71.25at％，铝元素所占整个复合靶材的比例为17.5～23.75at％，钠元素或钾元素所占整复合靶材的比例为5～30at％。
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