[发明专利]SPR相位测量金属薄膜厚度和光学常数的IAGA方法

摘要

本发明公开了一种SPR相位测量金属薄膜厚度和光学常数的IAGA方法：首先通过SPR相位测量装置测量在入射光波长固定、不同入射角下的多层金属薄膜的干涉条纹信息，获得相位差与入射角的关系曲线，再从关系曲线中选取相位差数据代入目标函数，采用改进自适应遗传算法反演多层金属薄膜的厚度和光学常数，将反演计算所获入射角与相位差的关系曲线与实验中所获得的入射角与相位差关系曲线上设定的的某一个或几个特定角度点的值进行对比，看特定角度点的值的逼近程度。本发明的有益效果是：仅一次计算即可快速检测多层金属薄膜厚度和光学常数；为求解多层薄膜的光学常数和厚度提供有效地理论指导和参考，具有优化效果好，应用性强等特点。

主权项

1.一种SPR相位测量金属薄膜厚度和光学常数的IAGA方法，其特征在于，包括以下步骤：1)通过SPR相位测量装置测量在入射光波长固定、不同入射角下的多层金属薄膜的干涉条纹信息；2)通过处理步骤1)得到的干涉条纹，获得相位差与入射角的关系曲线，入射角范围为由棱镜‑多层金属膜‑空气结构确定的可激发SPR效应的角度范围。3)从步骤2)获得的关系曲线中选取相位差数据代入目标函数，并预设迭代次数以及最小逼近误差值为反演计算终止条件值；4)利用从步骤3)处获得的包含相位差数据的目标函数，采用改进自适应遗传算法反演多层金属薄膜的厚度和光学常数；5)绘制曲线验证：将反演计算所获入射角与相位差的关系曲线与实验中所获得的入射角与相位差关系曲线上设定的的某一个或几个特定角度点的值进行对比，根据终止条件，看特定角度点的值的逼近程度，若大于终止条件则回到步骤4)继续迭代计算，反之则退出迭代计算并给出计算结果。