[发明专利]一种强制对流的硅烷热分解制多晶硅反应炉

摘要

本发明的一种强制对流的硅烷热分解制多晶硅反应炉由钟罩、隔膜式压缩机、底板、硅棒和硅棒冷却夹套构成。本发明的一种强制对流的硅烷热分解制多晶硅反应炉通过反应炉侧面设置隔膜式压缩机循环管路，对炉内气体进行强制循环，实现炉内气体的强制对流；通过特殊设计和设置的原料气进口管，利用原料气的动力进一步强化炉内气体的对流；通过上述两方面的作用，强化炉内对流，进而强化硅棒表面气体的流动，减小硅棒表面气体的层流边界层的厚度、减少传质阻力，加快传质速率、进而加快硅棒生长速率，减少硅烷热分解制多晶硅的单位能耗。

主权项

1.一种强制对流的硅烷热分解制多晶硅反应炉，其特征在于所述的反应炉由钟罩、隔膜式压缩机、底板、硅棒和硅棒冷却夹套构成；所述的钟罩为带有冷却水夹套的双层结构，侧面设有循环气进口、循环气出口；所述的隔膜式压缩机设有进口和出口，所述隔膜式压缩机的进口与循环气出口连通、出口与循环气进口连通；所述的底板为带冷却水夹套的双层结构，设有原料气进口管、尾气出口管和石墨电极；所述的原料气进口管由直管段和分布头构成，原料气进口管深入到反应炉中间高度；所述的分布头为侧面设有气孔的圆柱腔体，所述的气孔的中心轴与分布头的中心轴相交形成交角ɑ，所述的ɑ的角度值为10~45度，所述的分布头侧面的开孔率为10~35%；所述的硅棒为一倒U型硅棒，硅棒的两端支撑在石墨电极上；所述的硅棒的两段垂直部分外分别套有一个硅棒冷却夹套；所述的钟罩扣在底板上。