[发明专利]一种周期性多层结构AlTiYN/AlCrSiN硬质涂层及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 201810403923.X | 申请日： | 2018-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN108468028B | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 王启民;张权;吴正涛;刘喆人;彭滨 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 广东广信君达律师事务所 44329 | 代理人： | 张燕玲;杨晓松 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明属于材料涂层领域，公开了一种周期性多层纳米结构AlTiYN/AlCrSiN硬质涂层及其制备方法和应用。制备时先活化金属基体，再沉积～1μm厚的AlTiYN过渡层，为多层结构提供支撑；最后交替沉积制备AlTiYN/AlCrSiN功能层。多层结构中，AlCrSiN中间层以AlTiYN中间层为模板，通过共格生长表现为面心立方结构。AlCrSiN涂层为非晶Si |
||
| 搜索关键词： | 一种 周期性 多层 结构 altiyn alcrsin 硬质 涂层 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种周期性多层纳米结构AlTiYN/AlCrSiN硬质涂层，其特征在于：所述涂层由下到上包括硬质合金基体、AlTiYN过渡层和AlTiYN/AlCrSiN功能层；AlTiYN/AlCrSiN功能层是由调制比为1:1～2:1的AlTiYN中间层与AlCrSiN中间层交替沉积而成，调制周期为4～20nm；AlTiYN过渡层中各元素的原子百分比含量为：Al:20～28at.％，Ti:18～22at.％，Y:1～2at.％，N:45～55at.％；AlTiYN中间层各元素的原子百分比含量为：Al:20～28at.％，Ti:18～22at.％，Y:1～2at.％，N:45～55at.％；AlCrSiN中间层中各元素的原子百分比含量为：Al:20～35at.％，Cr:10～20at.％，Si:3～10at.％，N:40～53at.％。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东工业大学，未经广东工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810403923.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
