[发明专利]O-ring槽加工方法及装置在审
| 申请号： | 201810367421.6 | 申请日： | 2018-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN108555539A | 公开（公告）日： | 2018-09-21 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;韩军辉 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00;B23P23/02 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 陈剑 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种O‑ring槽加工方法及装置。所述方法应用于加工设备，所述加工设备包括至少一个铣刀及至少一个燕尾槽刀。所述方法包括：确定待加工溅射靶材的加工点；根据O‑ring槽的加工规格信息利用目标铣刀在加工点进行加工，得到初始槽，其中，初始槽位于所述待加工溅射靶材内；根据O‑ring槽的加工规格信息利用目标燕尾槽刀对初始槽进行加工，得到O‑ring槽。通过上述方式可以加工得到与O‑ring槽的加工规格信息对应的O‑ring槽。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 规格信息 加工设备 溅射靶材 槽加工 加工点 燕尾槽 铣刀 | ||
【主权项】：
1.一种O‑ring槽加工方法，其特征在于，应用于加工设备，所述加工设备包括至少一个铣刀及至少一个燕尾槽刀，所述方法包括：确定待加工溅射靶材的加工点；根据O‑ring槽的加工规格信息利用目标铣刀在所述加工点进行加工，得到初始槽，其中，所述初始槽位于所述待加工溅射靶材内；根据O‑ring槽的加工规格信息利用目标燕尾槽刀对所述初始槽进行加工，得到O‑ring槽。
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