[发明专利]O-ring槽加工方法及装置

权利要求书

1.一种O-ring槽加工方法，其特征在于，应用于加工设备，所述加工设备包括至少一个铣刀及至少一个燕尾槽刀，所述方法包括：

确定待加工溅射靶材的加工点；

根据O-ring槽的加工规格信息利用目标铣刀在所述加工点进行加工，得到初始槽，其中，所述初始槽位于所述待加工溅射靶材内；

根据O-ring槽的加工规格信息利用目标燕尾槽刀对所述初始槽进行加工，得到O-ring槽。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据O-ring槽的加工规格信息利用目标铣刀在所述加工点进行加工，得到初始槽，包括：

根据O-ring槽的加工规格信息利用所述目标铣刀在所述加工点进行加工，得到一进刀口；

利用所述目标铣刀通过所述进刀口在所述待加工溅射靶材内加工得到所述初始槽。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据O-ring槽的加工规格信息利用目标燕尾槽刀对所述初始槽进行加工，得到O-ring槽，包括：

控制所述目标燕尾槽刀从所述进刀口下刀，并根据O-ring槽的加工规格信息对所述初始槽进行加工。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述根据O-ring槽的加工规格信息利用目标铣刀在所述加工点进行加工之前，所述方法还包括：

根据O-ring槽的加工规格信息从所述至少一个铣刀中选择所述目标铣刀，并从所述至少一个燕尾槽刀中选择所述目标燕尾槽刀。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

根据所述待加工溅射靶材的材料设置所述目标铣刀的加工参数及所述目标燕尾槽刀的加工参数。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述待加工溅射靶材的材料为钛，所述方法还包括：

设置所述目标铣刀的加工参数为每分钟转数在2000～3000转之间，每分钟切削进给在150～200mm之间；

设置所述目标燕尾槽刀的加工参数为每分钟转数在1500～2100转之间，每分钟切削进给在40～60mm之间。

7.一种O-ring槽加工装置，其特征在于，应用于加工设备，所述加工设备包括至少一个铣刀及至少一个燕尾槽刀，所述装置包括：

准备模块，用于确定待加工溅射靶材的加工点；

铣刀加工模块，用于根据O-ring槽的加工规格信息利用目标铣刀在所述加工点进行加工，得到初始槽，其中，所述初始槽位于所述待加工溅射靶材内；

槽刀加工模块，用于根据O-ring槽的加工规格信息利用目标燕尾槽刀对所述初始槽进行加工，得到O-ring槽。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述铣刀加工模块根据O-ring槽的加工规格信息利用目标铣刀在所述加工点进行加工，得到初始槽的方式包括：

根据O-ring槽的加工规格信息利用所述目标铣刀在所述加工点进行加工，得到一进刀口；

利用所述目标铣刀通过所述进刀口在所述待加工溅射靶材内加工得到所述初始槽。

9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述槽刀加工模块根据O-ring槽的加工规格信息利用目标燕尾槽刀对所述初始槽进行加工，得到O-ring槽的方式包括：

控制所述目标燕尾槽刀从所述进刀口下刀，并根据O-ring槽的加工规格信息对所述初始槽进行加工。

10.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，

所述准备模块，还用于根据所述待加工溅射靶材的材料设置所述目标铣刀的加工参数及所述目标燕尾槽刀的加工参数。