[发明专利]单晶硅提拉装置的热屏蔽部件

摘要

本发明提供一种阻止从硅熔液提拉中的单晶硅棒的外周部的急剧的温度下降，并抑制单晶硅棒中的热应力的产生的单晶硅提拉装置的热屏蔽部件。设置于腔室内的石英坩埚中储存有硅熔液，并且设置有具有筒部的热屏蔽部件，所述筒部包围从硅熔液提拉的单晶硅棒的外周面且下端与硅熔液的表面隔开间隔而位于上方。在筒部的下部设置有隆起部，隆起部由以下构成：环状的底壁，与筒部的下缘连接并到达单晶硅棒的外周面附近；筒状的纵壁，与单晶硅棒的外周面隔开指定的间隔而与底壁的内缘连接设置；及上壁，与纵壁的上缘连接设置且以随着朝向上方而直径变大的方式形成，并且上缘与筒部的内周面抵接。在隆起部的内部填充有蓄热部件。

主权项

1.一种单晶硅提拉装置的热屏蔽部件，其设置于从储存于石英坩埚（13）的硅熔液（12）提拉单晶硅棒（25）的装置，并且具有筒部（37），所述筒部（37）包围所述单晶硅棒（25）的外周面且下端与所述硅熔液（12）的表面隔开间隔而位于上方并遮挡来自加热器（18）的辐射热，所述热屏蔽部件的特征在于，在所述筒部（37）的下部设置有沿筒内的方向隆起的隆起部（41），所述隆起部（41）由如下构成：环状的底壁（42），与筒部（37）的下缘连接且沿水平延伸而到达单晶硅棒（25）的外周面附近；筒状的纵壁（44），相对于所述单晶硅棒（25）的轴心线平行地或以‑30度以上且+30度以下的角度倾斜地延伸且与所述单晶硅棒（25）的外周面隔开指定的间隔而与所述底壁（42）的内缘连接设置；及圆锥状的上壁（46），与所述纵壁（44）的上缘连接设置且以随着朝向上方而直径变大的方式形成，并且上缘与所述筒部（37）的内周面抵接，在由所述筒部（37）的下部、所述底壁（42）、纵壁（44）及上壁围住的所述隆起部（41）的内部填充有蓄热部件（47）。