[发明专利]过滤器连接装置以及具有过滤器连接装置的基板处理装置

摘要

本发明涉及一种过滤器连接装置以及具有该过滤器连接装置的基板处理装置，过滤器连接装置具有接头构件、基座板、过滤器支撑部、旋转轴部以及脚部。基座板支撑接头构件。过滤器支撑部能够支撑第一过滤器以及第二过滤器。旋转轴部与过滤器支撑部连接。脚部支撑旋转轴部。过滤器支撑部通过以旋转轴部为中心旋转，形成第一姿势以及第二姿势。过滤器支撑部具有：第一过滤器支撑部，在过滤器支撑部为第一姿势，该第一过滤器支撑部支撑第一过滤器；第二过滤器支撑部，在过滤器支撑部为第二姿势，该第二过滤器支撑部支撑第二过滤器。

主权项

1.一种过滤器连接装置，能够与形状彼此不同的第一过滤器以及第二过滤器中的任一过滤器连接，所述过滤器连接装置具有：连接端口，能够与所述第一过滤器的连接口以及所述第二过滤器的连接口连接，基座部，支撑所述连接端口，过滤器支撑部，能够支撑所述第一过滤器以及所述第二过滤器，旋转轴部，与所述过滤器支撑部连接，以及脚部，支撑所述旋转轴部；所述过滤器支撑部通过以所述旋转轴部为中心旋转，形成第一姿势以及第二姿势，所述过滤器支撑部具有：第一过滤器支撑部，在所述过滤器支撑部为所述第一姿势时，所述第一过滤器支撑部支撑所述第一过滤器，以及第二过滤器支撑部，在所述过滤器支撑部为所述第二姿势时，所述第二过滤器支撑部支撑所述第二过滤器。