[发明专利]一种用于制备石墨烯的智能型基片湿法腐蚀处理装置在审
| 申请号： | 201810182263.7 | 申请日： | 2018-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN108286048A | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | 王海涛 | 申请（专利权）人： | 德化利鑫新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;C23G3/00 |
| 代理公司： | 深圳市汉唐知识产权代理有限公司 44399 | 代理人： | 彭益宏 |
| 地址： | 362500 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于制备石墨烯的智能型基片湿法腐蚀处理装置，包括底座、供液机构、清洗盒、密封板、夹持机构、喷头、移动机构、控制器和排气机构，移动机构包括第一电机、缓冲块、第一驱动轴、滑块、固定杆和摆动组件，排气机构包括入气管、处理盒、加料管、加料盒和排气管，加料盒内设有加料组件，供液机构包括支柱、供液盒、第一水管、第二水管、第三水管和水泵，该用于制备石墨烯的智能型基片湿法腐蚀处理装置通过移动机构带动喷头移动对基片的各处进行冲刷清洗，去除基片表面的杂质，使气相反应沉积时石墨烯均匀分布在基片表面，不仅如此，通过排气机构吸收清洗产生的二氧化氮，防止废气危害操作人员，进一步提高了设备的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨烯 处理装置 排气机构 湿法腐蚀 移动机构 制备 水管 供液机构 基片表面 加料盒 清洗 喷头 摆动组件 二氧化氮 夹持机构 加料组件 喷头移动 气相反应 控制器 处理盒 供液盒 固定杆 缓冲块 加料管 密封板 排气管 清洗盒 驱动轴 入气管 沉积 冲刷 底座 滑块 去除 水泵 废气 电机 吸收 | ||
【主权项】：
1.一种用于制备石墨烯的智能型基片湿法腐蚀处理装置，其特征在于，包括底座(1)、供液机构、清洗盒(2)、密封板(3)、夹持机构、喷头(4)、移动机构、控制器(5)和排气机构，所述供液机构、清洗盒(2)和排气机构依次设置在底座(1)的上方，所述控制器(5)固定在底座(1)的上方，所述控制器(5)内设有PLC，所述密封板(3)位于清洗盒(2)的上方，所述移动机构和夹持机构均设置在密封板(3)的下方，所述移动机构与喷头(4)传动连接，所述喷头(4)与供液机构连接；所述移动机构包括第一电机(6)、缓冲块(7)、第一驱动轴(8)、滑块(9)、固定杆(10)和摆动组件，所述第一电机(6)和固定杆(10)均固定在密封板(3)的下方，所述固定杆(10)位于第一电机(6)的远离夹持机构的一侧，所述第一电机(6)与PLC电连接，所述第一电机(6)与第一驱动轴(8)的顶端传动连接，所述缓冲块(7)位于第一驱动轴(8)的底端，所述缓冲块(7)与固定杆(10)固定连接，所述滑块(9)套设在第一驱动轴(8)和固定杆(10)上，所述滑块(9)的与第一驱动轴(8)的连接处设有与第一驱动轴(8)匹配的螺纹，所述摆动组件位于滑块(9)的靠近夹持机构的一侧；所述排气机构包括入气管(11)、处理盒(12)、加料管(13)、加料盒(14)和排气管(15)，所述处理盒(12)固定在底座(1)的上方，所述入气管(11)的一端与清洗盒(2)连通，所述入气管(11)的另一端位于处理盒(12)内的底部，所述排气管(15)位于处理盒(12)的远离入气管(11)的一侧，所述加料盒(14)通过加料管(13)固定在处理盒(12)的上方，所述加料盒(14)通过加料管(13)与处理盒(12)连通，所述加料盒(14)的上方设有盖板，所述加料盒(14)内设有加料组件。
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- 本实用新型公开了一种铝箔腐蚀生产线加温装置，包括加热箱，所述加热箱内底部固定连接有隔板，加热箱一侧面的底部开设有出料口，加热箱另一侧面的顶部开设有进料口，且加热箱另一侧面的底部开设有排污口，加热箱另一侧面与隔板之间的内顶部安装有若干石英加热管，加热箱另一侧面的固定连通有第一水管，加热箱另一侧面设置有水泵，水泵的进口与第一水管固定连通，水泵的出口固定连接有第二水管，本实用新型通过设置的隔板，将加热与反应区域分开，使加温产生磷酸盐沉入加热区域底部，不易进入反应区域，导致附在转动滚轮上刺破铝箔，影响产品品质和引起铝箔断裂，造成停机，影响生产。
- 一种铝箔腐蚀生产线用刮水装置-201821984274.9
- 李慈祥 - 湖北富奕达电子科技有限公司
- 2018-11-28 - 2019-07-30 - C23F1/08
- 本实用新型公开了一种铝箔腐蚀生产线用刮水装置，包括生产线支架，所述生产线支架是由若干数量的铁管焊接而成，生产线支架上固定连接底座的底端，底座的顶端与集水槽的底端固定连接，集水槽的内壁上固定连接有转盘，转盘的外表面转动连接有铝箔，转盘的中心轴与支撑杆的底端固定连接，支撑杆的顶端与生产线支架固定连接，生产线支架固定连接支撑杆的一侧内表面固定连接有两块机台固定板，两块机台固定板中间固定连接有刮水架支架。本实用新型不仅能够进行水平方向的调准和上下方向的调准，而且可以360°旋转刮水杆，便于清理刮水杆表面的铝粉和结晶化学药品。
- 真空蚀刻机-201821951315.4
- 张伟连 - 开平依利安达电子第三有限公司
- 2018-11-24 - 2019-07-23 - C23F1/08
- 本实用新型公开了一种真空蚀刻机，包括箱体以及设置在箱体内的喷淋机构、PCB传送机构，所述PCB传送机构穿过箱体设置，所述喷淋机构设置在PCB传送机构的上方，所述箱体内底部铺设有吸油棉。通过在蚀刻机箱体内底部铺设吸油棉，用于吸附蚀刻液的油污及悬浮物杂质，有利于提高产品的品质，以及有效延长蚀刻液的使用时间，具有较高的经济效益和环保价值。
- 一种带喷嘴的电路板蚀刻机-201821862164.5
- 李钦;王鹏;施喆文;钟亦雄 - 厦门市腾盛兴电子技术有限公司
- 2018-11-13 - 2019-07-16 - C23F1/08
- 本实用新型公开了一种带喷嘴的电路板蚀刻机。包括增压杆和卡槽，所述增压杆底部的外壁设置有蚀刻主体，且蚀刻主体内部内壁的上下两端均安装有滑槽，所述滑槽内部的内壁连接有移动滑块，所述蚀刻主体右端外部的外壁设置有防护板，且防护板内部的内壁安装有衔接块，所述衔接块内部的内壁贯穿有转动转轴，所述防护板右端外壁的外壁连接有固定块，所述蚀刻主体内部内壁的中部设置有安装基座。该带喷嘴的电路板蚀刻机通过固定弹簧与容纳板的设置，利用伸展之后固定弹簧本身固有的弹性能够放置在容纳板内部的电路板一个相对适宜的弹力对其进行挤压，固定弹簧能够有效的分解力的作用力避免电路板在蚀刻过程中受到损伤。
- 一种电路板蚀刻机用观察窗-201821885647.7
- 李钦;王鹏;施喆文;钟亦雄 - 厦门市腾盛兴电子技术有限公司
- 2018-11-16 - 2019-07-16 - C23F1/08
- 本实用新型公开了一种电路板蚀刻机用观察窗，包括框架以及与框架连接的玻璃板，玻璃板边缘可转动连接锁紧把手，锁紧把手上设有嵌入部，框架上设有与嵌入部适配的凹槽，嵌入部可插入凹槽内，框架上设有喷淋头，喷淋头朝向玻璃板的板面设置。如此，本实用新型提供的电路板蚀刻机用观察窗结构简单，通过喷淋头对玻璃板进行喷淋，同时玻璃板便于拆装清洗，减少整体的清洗工作量，方便使用。
- 一种新型铝电解电容用腐蚀箔生产设备-201821861572.9
- 金波;陈思友;吕晓明;骆金山 - 江西省万年群兴电子有限公司
- 2018-11-12 - 2019-07-12 - C23F1/08
- 本实用新型公开了一种新型铝电解电容用腐蚀箔生产设备，涉及腐蚀箔生产领域，包括反应池、溶液池、过渡板、开关板、转轮以及电机；反应池与溶液池左右相接；二者之间设有过渡板；反应池底部固定连接有第一弹簧座，第一弹簧座的右侧面与地平面呈钝角倾斜设置；过渡板顶部固定连接有销接块；开关板的左面固定连接有第二弹簧座，第二弹簧座的左侧面与第一弹簧座的右侧面平行；第一弹簧座与第二弹簧座之间安装有弹簧；转轮通过转轮座安装在溶液池内部，转轮的回转面上均匀设有若干叶片；电机安装在溶液池外部，连接转轮座的中心。启动电机带动叶片转动能够连续不断地将溶液池的高浓度盐酸送入反应池中，使得铝箔的腐蚀能够连续不断地进行。
- 一种使用外红外加热的蚀刻装置-201821559917.5
- 李彦;耿朝辉 - 赫得纳米科技（黄石）有限公司
- 2018-09-25 - 2019-07-09 - C23F1/08
- 本实用新型公开了一种使用外红外加热的蚀刻装置，包括箱体，所述箱体的前端面设置有观察窗，观察窗设置有两个，且观察窗之间关于箱体的垂直中心线相对称，所述箱体的一侧设置有入板托槽，且入板托槽与箱体之间通过螺钉固定连接，所述箱体的另一侧设置有出板托槽，且出板托槽与箱体之间通过螺钉固定连接，所述入板托槽的一侧设置有蚀刻液箱，所述蚀刻液箱的上方安装有水泵，所述蚀刻液箱上设置有蚀刻液箱壳，所述水泵进口管内壁的上方安装有外红外线灯，所述蚀刻液箱壳内壁的一侧安装有温控器保护罩。本实用新型加热速度快、受热均匀，节约百分之三十的电力消耗，节约了成本，缩短了加热时间。
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