[发明专利]掩膜板装载系统在审
| 申请号： | 201810083826.7 | 申请日： | 2018-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN108287454A | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | 陈世喜;王学雷;欧阳昊;仝建军;李伟界;黄伟东;李建华 | 申请（专利权）人： | 信利（惠州）智能显示有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 叶剑 |
| 地址： | 516029 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种掩膜板装载系统，该方法包括：存放架、多个存放盒、扫描模块和控制模块；各所述存放盒分别活动设置于所述存放架上，各所述扫描模块分别设置于所述存放架上，且每一所述扫描模块与一所述存放盒对应；每一所述存放盒用于容置一掩膜板，每一所述存放盒分别开设有一识别窗口，每一所述识别窗口用于与一所述掩膜板的识别部对齐，每一所述扫描模块与一所述识别窗口对齐；各所述扫描模块与所述控制模块电连接。扫描模块透过存放盒的识别窗口，对掩膜板上识别部进行扫描，获得掩膜板上的识别码，进而反馈至控制模块，使得曝光机能够准确获取对应型号的掩膜板，使得曝光显影效率更高，且能够有效避免曝光错误，提高产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 扫描模块 存放盒 控制模块 存放架 装载系统 对齐 产品良率 活动设置 曝光显影 电连接 曝光机 识别码 容置 扫描 反馈 曝光 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板装载系统，其特征在于，包括：存放架、多个存放盒、扫描模块和控制模块；各所述存放盒分别活动设置于所述存放架上，各所述扫描模块分别设置于所述存放架上，且每一所述扫描模块与一所述存放盒对应；每一所述存放盒用于容置一掩膜板，每一所述存放盒分别开设有一识别窗口，每一所述识别窗口用于与一所述掩膜板的识别部对齐，每一所述扫描模块与一所述识别窗口对齐；各所述扫描模块与所述控制模块电连接。
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