[发明专利]掩模组件、掩模框架以及掩模支撑架有效
| 申请号： | 201810068510.0 | 申请日： | 2018-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN108034923B | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 蒋谦;陈永胜 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 钟子敏 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掩模组件、掩模框架以及掩模支撑架，所述掩模组件包括掩模框架和掩模支撑架；所述掩模框架包括至少一个第一连接部；所述掩模支撑架包括至少一个第二连接部；所述掩模框架和所述掩模支撑架通过所述第一连接部和所述第二连接部可拆卸连接。本发明掩模组件包括可拆卸连接的掩模框架和掩模支撑架，在更换掩模组件时，由于掩模框架尺寸没有改变，掩模框架可以直接再次利用，只需更换掩模支撑架即可。本发明能够实现掩模框架多次循环使用，降低掩模框架的替换率，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 模组 框架 以及 支撑架 | ||
【主权项】：
1.一种掩模组件，其特征在于，所述掩模组件包括掩模框架和掩模支撑架；所述掩模框架包括至少一个第一连接部；所述掩模支撑架包括至少一个第二连接部；所述掩模框架和所述掩模支撑架通过所述第一连接部和所述第二连接部可拆卸连接。
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