[发明专利]激光照射系统和电子器件的制造方法有效
| 申请号： | 201780096036.6 | 申请日： | 2017-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN111226359B | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 铃木章义;若林理 | 申请（专利权）人： | 极光先进雷射株式会社 |
| 主分类号： | H01S3/086 | 分类号： | H01S3/086 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 金玲;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的一个观点的激光照射系统具有：第1光学系统，其将第1激光变换为第2激光；多镜器件，其包含多个反射镜，能够控制多个反射镜的各个姿势角度，且该多镜器件通过对第2激光进行分割而向多个方向反射，生成分割后的多个激光；傅立叶变换光学系统，其使分割后的多个激光会聚；以及控制部，其以利用傅立叶变换光学系统使通过所述反射镜进行分割后的多个激光重叠的方式控制所述多个反射镜的姿势角度，其中所述反射镜彼此隔开所述第2激光的空间相干长度以上的距离。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 照射 系统 电子器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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