[发明专利]蒸镀粒子射出装置及蒸镀装置、以及蒸镀膜制造方法有效
| 申请号： | 201780095302.3 | 申请日： | 2017-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN111148860B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 西口昌男 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/00;C23C14/56;H05B33/10;H05B33/14 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 王娟 |
| 地址： | 日本国大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 蒸镀粒子射出装置(1)具备：第二蒸镀源(20)、及在Y轴方向上夹着第二蒸镀源的第一蒸镀源(10)和第三蒸镀源(30)。在第一蒸镀源及第三蒸镀源中，在X轴方向上排列着朝向第二蒸镀源倾斜的多个喷嘴(12、31)。在第二蒸镀源中，在X轴方向上排列着朝向第一蒸镀源倾斜的多个喷嘴(23)和朝向第三蒸镀源倾斜的多个喷嘴(22)。 | ||
| 搜索关键词： | 粒子 射出 装置 以及 镀膜 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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